多层胶片厚度的太赫兹波反射式在线测量方法

摘要

本发明所述多层胶片厚度的太赫兹波反射式在线测量方法，基于太赫兹技术而实现一种全新的反射式在线测量方法，即先对多层胶片的每个胶层样品进行静态离线测量以标定每个胶层固有材料所导致的实际折射率，以建立后续在线测量厚度的计算对标，利用太赫兹的非接触、高反射性、高精度、无损伤等特性，实现对多层胶片的现场动态测量，以期达到厚度检测的准确度、稳定性的相关标准，进而为多层胶片厚度均匀性检测提供了一种有效的新方法。所述反射式在线测量方法，在线测量过程中，同一组太赫兹波的发射装置与接收装置位于被测量对象的同一侧；利用太赫兹波反射特性，计算出不同层面反射波到达的时间差与强度变化，得出符合以下公式的n层胶片总厚度δ。