公开/公告号CN108475022A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-08-31
原文格式PDF
申请/专利权人 荣昌化学制品株式会社;
申请/专利号CN201780005294.9
申请日2017-04-26
分类号G03F7/038(20060101);G03F7/16(20060101);G03F7/20(20060101);G03F7/004(20060101);
代理机构11384 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人郑青松
地址 韩国庆尚北道
入库时间 2023-06-19 06:20:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-25
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/038 申请日:20170426
实质审查的生效
2018-08-31
公开
公开
机译: 使用负性光致抗蚀剂在图案化工艺中改善LWR的方法和组合物
机译: 使用负性光致抗蚀剂在图案化工艺中改善LWR的方法和组合物
机译: 使用阴性光致抗蚀剂改善图案化步骤中LWR的方法和组合物