一种单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线

摘要

本发明公开了一种单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线，从上至下依次是低折射率覆盖层，金属纳米球体阵列和探测器衬底。所述低折射率覆盖层的折射率在1.3至2.3之间，金属纳米球体直径300‑500纳米，周期700‑900纳米。金属纳米天线结构通过光散射与表面局域场增强效应，可以提升探测器的光吸收性能，增强探测器对入射光的响应，改善量子效率，并且制备工艺简单，制备成本低。