一种同位素靶件氦质谱泄漏检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种同位素靶件氦质谱泄漏检测装置及检测方法，内靶管压氦容器，内靶管压氦容器一端与电磁阀上端连接；电磁阀下端与四通管一端和波纹管一端均连接，四通管另外三端分别连接内靶管压氦容器、氦气瓶和空压机；波纹管另一端与同位素靶件压氦容器连接；第一内靶管检漏容器、第二内靶管检漏容器和同位素靶件检漏容器，第一内靶管检漏容器、第二内靶管检漏容器的一端均通过电磁阀与三通管的两端连接，三通管的另一端通过氦质谱检漏仪连接口与氦质谱检漏仪连接；同位素靶件检漏容器上设有3个KF接头，实现同位素靶件氦质谱泄漏快速检测，建立同位素靶件氦质谱泄漏快速检测方法，改进和完善同位素靶件制作工艺，保障同位素靶件质量。