减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法

摘要

本发明公开了一种减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法。它包括使用聚焦离子束将待测样品切割成30‑150nm厚的透射薄片后，清理透射薄片表面的非晶层，特别是完成步骤如下：使用蒸镀法在待测样品与真空接触的表面蒸镀厚500‑1000nm的金属层，或使用聚焦离子束在待测样品与真空接触的表面沉积厚500‑1000nm的含有机物的保护层，制得目的产物。它于使用洛伦兹透射电镜表征时，在目的产物与真空交界处出现的菲涅尔衍射条纹极弱，从而极易于应用在对各种尺寸的待测样品精确地进行洛伦兹透射电镜的表征，使其在表征材料磁信息的领域有着广泛的应用前景。