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公开/公告号CN108351240A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS 仪器公司;
申请/专利号CN201680061708.5
发明设计人 丁军华;M·勒巴希;
申请日2016-08-23
分类号G01F1/34(20060101);G01F1/36(20060101);G05D7/06(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人陈松涛;王英
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2023-06-19 06:31:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01F1/34 申请日:20160823
实质审查的生效
2018-07-31
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