一种金属纳米粒子增强多孔ZnO光催化降解薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供一种金属纳米粒子增强多孔ZnO光催化降解薄膜及其制备方法，包括衬底层、多孔ZnO薄膜层、金属纳米粒子，利用ZnO在衬底层上真空热蒸镀一层ZnO薄膜，然后在箱式电阻炉中加热退火，并在得到结晶态的ZnO薄膜上旋涂光刻胶，曝光显影，获得需要刻蚀的孔洞的图案，然后醋酸溶液腐蚀结晶态的ZnO薄膜，得到多孔ZnO薄膜层，并在其上溅射一层金属薄膜，从而得到金属纳米粒子；本发明适用范围广、制备工艺简单、制备成本低，通过在ZnO薄膜的表面和孔洞溅射金属纳米粒子，有利于提高ZnO薄膜的光催化降解效率；另外通过孔洞增加了催化的面积，并且空洞形状可控性强，进一步提高了ZnO薄膜的催化效率。