一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置及测试方法

摘要

本发明涉及硬质薄膜材料应力测试领域，具体涉及一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置及测试方法。所述样品装置包括样片夹持部件和应力加载部件；所述样片夹持部件夹持样品，所述应力加载部件在样品上施加可调应力。利用上述装置对样品施加不同应力，实现对薄膜不同深度处应力梯度的测定。本发明填补了薄膜材料在不同服役环境下的应力梯度原位演化测量装置的空白，实现了基于X射线的薄膜应力梯度的原位加载与测试。