用于高温度变化的无漂移HREM的MEMS装置中的多重加热器

摘要

在电子显微镜中使用基于MEMS的微型加热器进行加热实验是已知的。样品的加热通常涉及至少50K并且通常至少200K的温度升高或降低。本发明提供了一种改进的加热系统，其用于需要<0.2nm/sec的低漂移的观察工具(例如电子显微镜)，该加热系统包括两个配合并集成的基于MEMS的微型加热器(21、22)，所述微型加热器以小于10毫米的相互距离间隔开。第一加热器是主加热器(21)并且能够接收第一量的功率，第二加热器是从属加热器(22)并且能够接收第二量的功率，其中第一和第二量的功率在从0mW到总量功率的范围内。温度计在使用中测量主加热器的温度，测量精度优于±10mK，功率控制器通过以优于±5pW的精度将总量功率保持恒定来防止所接收的总量功率的变化，并且将总量功率分配到所述至少两个加热器上。