法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G06T11/20 申请日:20171201
实质审查的生效
2018-03-30
公开
公开
机译: 图案绘制装置和用于形成图案的图案绘制方法,该图案在基板的两个侧面上与彼此之间都具有镜像图像,并且用于在图案绘制装置中使用的测试装置
机译: 用于在基板的两侧上形成相对于基板具有镜像关系的图案的图案绘制装置和图案绘制方法,以及用于该图案绘制装置的测试装置
机译: 用于在基板的两侧上形成相对于基板具有镜像关系的图案的图案绘制装置和图案绘制方法,以及用于该图案绘制装置的测试装置