一种在磁光玻璃上制备磁光生物传感微通道的方法

摘要

本发明公开一种在磁光玻璃上制作磁光生物传感用微通道的方法：将微通道图案通过软件绘制导入，使用40×物镜和520μm狭缝聚焦激光于抛光良好玻璃表面&激光束透射正交方向。以100kHz重复频率，0.1‑0.5W功率，21‑25A电流,重复扫描1‑3000次。按设定扫描图案移动激光束，直至在玻璃表面写出三维微通道。开通吹气装置辅助飞秒激光去除烧蚀玻璃基体碎屑，超声波去离子水震荡清洗后，280‑300℃下退2小时,所得微通道40‑50µm宽，20‑30µm深。该方法避免飞秒激光刻写玻璃微通道技术存在的酸蚀工艺，为磁光传感提供磁光性能优良的载体，提高器件磁场响应灵敏度和速度。本方法简单无毒污染，能耗低。