电子元件装置的电气特性测定方法、电子元件装置的筛选方法及电气特性测定装置

摘要

本发明提供校正了由基准温度和测定温度的差异引起的测定误差的电子元件的电气特性测定方法。分别对温度区域(3S、3T)进行温度控制，并且通过第1温度传感器(6)、第2温度传感器(8)、第3温度传感器(9)测定温度，算出测定电气特性时被测定电子元件装置X的测定时推定温度，使用该测定时推定温度，校正由基准温度和测定温度的差异引起的测定误差。校正后的电气特性在规定的范围内时，判断被测定电子元件装置(X)为合格品。