采用光学技术以三个尺度来检测基材的缺陷和定位此类缺陷的方法和设备

摘要

用于以三维尺度检测基材的缺陷并且定位此类缺陷的方法和设备包括：对基材进行取向，使得基材在X轴具有宽度尺度、在Y轴具有高度尺度以及在Z轴具有厚度尺度；将第一光束以相对于对称Z轴呈+A的角度导向；将第二光束以相对于对称Z轴呈‑A的角度导向；检测第一和第二光束，所述第一和第二光束已经通过基材的第一和/或第二相反主表面和任意缺陷并受其影响；以及以足够的精度计算缺陷的X、Y和Z位置，以探知每个缺陷分别布置在基材的第一和第二相反主表面的哪一个上。