气体混合装置和方法以及包括该气体混合装置的CVD设备

摘要

本发明公开一种气体混合装置和方法以及包括该气体混合装置的CVD设备，包括：混合管、与混合管出口连接的混合腔、与混合腔出口连接的导出管，混合管的内壁为螺旋结构。本发明将混合管内壁设置为螺旋结构，原料气体沿螺旋形结构行进过程中受管壁螺旋结构的约束多次改变行进方向，多种气体在同一管路中充分混合，随后气体进入直径变大的混合腔形成涡流，在混合腔中进一步存储混合。本发明的气体混合装置和方法可改善混合气体均匀性，提高气体混合的效率。