一种三氯氢硅合成炉及其增产降耗的方法

摘要

本发明涉及一种三氯氢硅合成炉及其增产降耗的方法，包括炉体、管束和风帽，所述炉体为设置有下封口的管状炉体，炉体包括第一炉体以及布设于第一炉体上部的第二炉体，第二炉体上端的侧壁上布设有远传温度计，所述第一炉体上均匀布设有多个远传温度计，第一炉体上部的侧壁上设置有加料口，第一炉体的炉腔内设置有多块折流板、管束和风帽，第一炉体的外径圈布设有管束，所述管束包括一组相对平行设置的集箱和均匀平行排列的换热管，所述集箱之间通过多根换热管连接，管束固定于风帽的上端，所述风帽水平布设于第一炉体下封口的上部。本发明可有效的减少细硅粉的携带量、提高三氯氢硅的回收率。