被检查体摄像装置、被检查体摄像方法、表面检查装置以及表面检查方法

摘要

高灵敏度地发现在具有可见光的波长程度的表面粗糙度的被检查体的表面所产生的为表面粗糙度的数倍左右的凹凸缺陷等，来准确地进行存在于被检查体的表面的脏污与凹凸瑕疵的区分，并且实现装置的小型化。本发明所涉及的被检查体摄像装置具备：光源，其产生属于红外波长带并在被检查体的表面上具有规定的发散半角的光束；投影光学系统，其将光束以规定的投影角投射到被检查体的表面上；以及摄像部，其拍摄来自被检查体的表面的反射光，其中，摄像部具有：摄像光学系统，其具有至少一个凸透镜，用于会聚反射光，并使该反射光向两个不同的方向分支；以及第一摄像元件和第二摄像元件，其拍摄透过了摄像光学系统的各反射光，第一摄像元件沿着反射光的光轴地位于比摄像光学系统的与被检查体的表面共轭的位置靠被检查体侧的位置，第二摄像元件沿着反射光的光轴地位于比该共轭的位置靠反射光的行进方向侧的位置。