公开/公告号CN101606232B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-23
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN200880004180.3
发明设计人 池贞浩;埃里克·A·埃德尔伯格;
申请日2008-02-04
分类号H01L21/3065(20060101);H01L21/768(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人周文强;李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:12:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-02-04
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/3065 变更前: 变更后: 登记生效日:20150115 申请日:20080204
专利申请权、专利权的转移
2013-01-23
授权
授权
2010-04-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20080204
实质审查的生效
2009-12-16
公开
公开
机译: 超高纵横比的介电脉冲蚀刻
机译: 超高纵横比的介电脉冲蚀刻
机译: 脉冲超高宽比电介质蚀刻