公开/公告号CN107210237A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-09-26
原文格式PDF
申请/专利权人 半导体元件工业有限责任公司;
申请/专利号CN201580074691.2
申请日2015-12-08
分类号H01L21/60(20060101);H01L21/683(20060101);H01L23/482(20060101);
代理机构11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人秦晨
地址 美国亚利桑那
入库时间 2023-06-19 03:26:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/60 申请日:20151208
实质审查的生效
2017-09-26
公开
公开
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