一种在线监测脉冲气体团簇离子束的方法及系统

摘要

本发明提供了一种在线监测脉冲气体团簇离子束的方法，首先对团簇离子束中的所有团簇离子施加相同的电压，使团簇离子束中不同荷质比的团簇离子具有各自不同的速度；团簇离子经过速度选择器筛选，其中一部分团簇离子偏离，另一部分团簇离子维持原方向从速度选择器出口喷出；用法拉第杯测量喷出的团簇离子束，确定团簇离子数量，并且利用与法拉第杯连接的计算机实时显示离子束流计数结果。本发明同时提供了一种监测系统，包括与进气管、脉冲阀、喷嘴、分束器、电离器、加速器、速度选择器、光阑和法拉第杯。本发明利用连续可调的磁场实现脉冲团簇离子的质量选择，判断重团簇离子的存在与数量，实现离子分离、在线测量和监控。