一种基于微纳荧光颗粒的薄膜热导率测量系统

摘要

本发明提供一种基于微纳荧光颗粒的薄膜热导率测量系统，所述测量系统至少包括：样品结构模块、成像光路模块以及激发射和光谱测量模块；所述样品结构模块至少包括衬底、待测薄膜、吸收热源和微纳荧光颗粒；所述待测薄膜置于所述衬底上，所述吸收热源和微纳荧光颗粒放置在所述待测薄膜表面；或者所述微纳荧光颗粒直接放置在所述衬底上；所述激光发射和光谱测量模块安装在所述样品结构模块的上方，用于照射待测薄膜以使所述吸收热源吸收激光能量产生热量，同时使微纳荧光颗粒受到激光激发产生荧光，并对光谱进行测量。利用本发明的测量系统可以实现对微纳米薄膜热导率的无损、便捷、可靠测量。