公开/公告号CN106536668A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 嘉柏微电子材料股份公司;
申请/专利号CN201580039281.4
申请日2015-07-17
分类号C09K3/00;H01L21/304;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人邢岳
地址 美国伊利诺伊州
入库时间 2023-06-19 01:49:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-12
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C09K3/00 申请公布日:20170322 申请日:20150717
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-04-19
实质审查的生效 IPC(主分类):C09K3/00 申请日:20150717
实质审查的生效
2017-03-22
公开
公开
机译: 二羟乙基羟胺稳定的三(2-羟乙基)甲基氢氧化铵的分解
机译: 二羟乙基羟胺稳定的三(2-羟乙基)甲基氢氧化铵的分解
机译: 稳定三(2-羟乙基)甲基氢氧化铵对二烷基羟胺的降解作用