一种测量粗糙表面面外偏振双向反射函数的方法

摘要

本发明提供一种测量粗糙表面面外偏振双向反射函数的方法。使光源产生的光线经偏振态发生器到达待测材料，待测材料反射的光线经偏振态分析器到达探测器；将待测材料围绕一定光路旋转一定角度，且保证光路在待测材料上的光斑位置不发生变化；旋转偏振态发生器或偏振态分析器，使偏振态发生器穆勒矩阵或偏振态分析器的穆勒矩阵发生变化；探测器采集一次出射光数据并存储，直至探测器至少采集十六次出射光数据；根据探测器采集并存储的出射光数据获得面外偏振双向反射函数。本发明方法原理简单，易实施，只需改变辅助角即可改变待测材料相对于光源或者探测器的天顶角或方位角，同时能有效测量方位角改变对偏振双向反射函数的影响。