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一种正交融合结构声表面波一氧化碳气体传感器

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本发明公开了一种正交融合结构声表面波一氧化碳气体传感器，包括声表面波器件和智能控制模块，声表面波器件与频率测量装置相连接，智能控制模块通过数据采集处理单元分别与温度传感器、湿度传感器、压力传感器、频率测量装置相连接，智能控制模块分别与神经网络误差补偿单元、云通信模块相连接；所述声表面波器件包括YZ切铌酸锂的基底，基底上蒸镀一层ZnO保护层，ZnO保护层上蒸镀刻蚀有相互正交的两条声表面波延迟线，两条声表面波延迟线相交处设有一氧化碳敏感膜，一氧化碳敏感膜为掺杂有ZnO和An

著录项

公开/公告号CN106324089A

专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-11

原文格式PDF
申请/专利权人中原工学院;
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申请/专利号CN201610919177.0
发明设计人张朋;范福玲;常静;赵启凤;江涛;付邦胜;杨益;王双红;靳莹瑞;肖俊明;王晓雷;
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申请日2016-10-21
分类号G01N29/02;G01D21/02;
代理机构郑州优盾知识产权代理有限公司;
代理人张绍琳
地址 451191 河南省郑州市新郑市双湖镇经济技术开发区淮河路1号
入库时间 2023-06-19 01:17:24

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-04-03

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N29/02 申请公布日:20170111 申请日:20161021

发明专利申请公布后的驳回
2018-12-28

著录事项变更 IPC(主分类):G01N29/02 变更前: 变更后: 申请日:20161021

著录事项变更
2017-02-15

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N29/02 申请日:20161021

实质审查的生效
2017-01-11

公开

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