一种用于非球面反射镜的五棱镜扫描检测方法

摘要

本发明公开一种用于非球面反射镜的五棱镜扫描检测方法，一、置备检测所需装置；二、单条母线的扫描检测；三、完成单条母线的扫描后，将非球面反射镜旋转角度a再进行下一条母线的扫描检测；四、检测数据处理及拟合；将所有的角度差值转换为非球面反射镜的反射面相应位置的斜率值，将所述斜率值与Zernike梯度多项式进行拟合，得到非球面反射镜的低阶面形误差参数，本发明能够获取反射镜的高精度低阶面形误差参数。