在铝等离子体装备部件上生成紧密的氧化铝钝化层

摘要

用于在铝部件上生成紧密的氧化铝钝化层的工艺包括以下步骤：在去离子水中冲洗部件达至少1分钟；干燥此部件达至少1分钟；以及在低于10℃的温度下，将此部件暴露于浓硝酸达1至30分钟。所述工艺也包括以下步骤：在去离子水中冲洗部件达至少1分钟；干燥此部件达至少1分钟；以及将此部件暴露于NH4OH达1秒至1分钟。所述工艺进一步包括以下步骤：在去离子水中冲洗部件达至少1分钟；以及干燥此部件达至少1分钟。用于等离子体处理系统的部件包括铝部件，所述铝部件涂覆有AlxOy膜，所述AlxOy膜具有4纳米至8纳米的厚度，并且所述AlxOy膜的表面粗糙度比不具有所述AlxOy薄膜的部件的表面粗糙度增加少于0.05微米。