法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-23
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B21/00 申请公布日:20160810 申请日:20160608
发明专利申请公布后的驳回
2016-09-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B21/00 申请日:20160608
实质审查的生效
2016-08-10
公开
公开
机译: 使用外部谐振器型环形激光的高精度环形激光干涉仪和光学传感装置
机译: 在该方法中的终点检测方法和半导体晶片蚀刻系统,以找到激光束干涉仪的激光束的停放点
机译: 能够高精度地检测基准位置的位置检测装置,透镜装置,摄像系统,机床装置,曝光装置,位置检测方法以及非暂时性计算机可读存储介质