二氧化碳激光器的放电电极、其制备方法及二氧化碳激光器

摘要

本发明涉及一种二氧化碳激光器的放电电极、其制备方法及二氧化碳激光器。一种二氧化碳激光器的放电电极，包括铝基板及形成于所述铝基板表面的镍层。上述二氧化碳激光器的放电电极，通过在铝基板的表面沉积镍层，镍层抗高温能力、抗氧化能力及表面硬度均大大优于铝，避免在运输、保存及装配过程中划伤放电电极；镍层提高了放电电极的抗高温性能，避免放电电极在使用过程灼烧变色及氧化，从而避免了二氧化碳激光器放电不均及激光功率的波动及因放电电极氧化引起的激光功率下降；镍层的表面电子逸出能大约是铝表面的1/3左右，可以降低启辉电压并使辉光放电更加的平稳，经测试证明在铝质电极表面沉积一层镍层大大提高了二氧化碳激光器功率的使用寿命。

说明书

技术领域

本发明涉及二氧化碳激光器的放电电极、其制备方法及二氧化碳激光器。

背景技术

二氧化碳激光器是以二氧化碳气体作为工作物质、同时辅于一定比例的氮 气和氦气，在射频激励下，气体发生电离并产生辉光放电，同时CO₂分子从基 态被激励到更高的能级，在高能级的CO₂分子向低能级跃迁时产生9.3-11μm 的激光。封离型射频激励扩散冷却板条波导CO₂激光器放电电极由两片平行放 置的金属板条构成，两板条间距一般几毫米，一侧板条连接射频电源，一侧板 条接地，放电发生在两板条之间。板条和激光腔镜固定安装在密封的金属外壳 中，激光由金属外壳上的窗口输出。金属板条和密封外壳一般采用铝材质。在 金属密封壳内充上二氧化碳工作气体，包括CO₂气体，N₂，He。注入射频功率， 激励二氧化碳工作气体放电，就可以输出二氧化碳激光。

两极板之间的工作气体在RF电场的作用下，由阴极逸出的自由电子(种子 电子)在向阳极的加速运动过程中撞击混合气体原子及分子，并使之电离，电 离时释放出的电子又与其它气体粒子发生碰撞并产生新的离子。离子在向阴极 运动过程中撞击阴极并和阴极上的自由电子复合，释放出电离能，阴极上的某 些其它电子获得此能量克服原子对其的束缚能(逸出能)逸出阴极，逸出的电 子继续撞击气体分子及原子产生离子，从而引起“电子雪崩”，气体被持续稳定 电离产生辉光放电，同时工作物质CO₂分子被抽运到高能级，产生激光增益介 质。当激光增益介质的增益系数大于损耗系数的时候，产生激光。

现在常用的二氧化碳板条激光器，一般采用铝质极板，由于铝质材料性软 且抗高温能力差，在运输、保存及装配过程中极易划伤放电面；抗高温能力差 的铝极板在使用一段时间后表面容易灼烧变色及氧化，从而引起放电不均、激 光功率波动，且氧化过程中会消耗工作气体中的氧原子，从而使激光功率下降。

发明内容

基于此，有必要提供一种能提二氧化碳激光器的使用寿命的二氧化碳激光 器的放电电极、其制备方法及使用该放电电极的二氧化碳激光器。

一种二氧化碳激光器的放电电极，包括铝基板及形成于所述铝基板表面的 镍层。

在其中一个实施例中，所述镍层的厚度为0.015mm～0.03mm。

一种二氧化碳激光器，包括上述的放电电极。

上述的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法，包括以下步骤：

将铝基板浸入碱液中进行碱蚀处理，所述碱液含有氢氧化钠、碳酸钠及磷 酸三钠，所述碱液中所述氢氧化钠的浓度为15g/L～20g/L，所述碳酸钠的浓度为 20g/L～30g/L，所述磷酸三钠的浓度为20g/L～30g/L；

将碱蚀处理后的所述铝基板清洗并干燥后浸入酸液中进行酸洗处理，所述 酸液含有硝酸及氟化氢，所述酸液中所述硝酸的浓度为420g/L～580g/L，氟化氢 的浓度为80g/L～140g/L；

将酸洗处理后的所述铝基板清洗并干燥后浸入锌液中进行第一次浸锌处 理，所述锌液含有氢氧化钠、氧化锌、酒石酸钾钠及三氯化铁，所述锌液中所 述氢氧化钠的浓度为480g/L～520g/L，所述氧化锌的浓度为90g/L～120g/L，所述 酒石酸钾钠的浓度为8g/L～12g/L，所述三氯化铁的浓度为1.5g/L～2.5g/L；

将第一次浸锌处理后的所述铝基板放入退锌液中进行退锌处理，所述退锌 液含有硝酸及氟化氢，所述退锌液中所述硝酸的浓度为530g/L～580g/L，氟化氢 的浓度为10g/L～55g/L；

将退锌处理后的所述铝基板浸入所述锌液中进行第二次浸锌处理；

将第二次浸锌处理后的所述铝基板清洗并干燥后浸入化学镀镍液中进行化 学镀镍处理，所述化学镀镍液含有硫酸镍、次亚磷酸钠、柠檬酸钠、氯化铵及 三乙醇胺，所述化学镀镍液中所述硫酸镍的浓度为20～30g/L，所述次亚磷酸钠 的浓度为30～40g/L，所述柠檬酸钠的浓度为90-110g/L，所述氯化铵的浓度为 30～45g/L，所述三乙醇胺的浓度为90-110g/L，所述化学镀镍液的pH值为9～10； 及将经过化学镀镍处理的所述铝基板清洗干燥后在100℃～150℃下进行退火处 理。

在其中一个实施例中，所述退火处理的时间为2小时～3小时。

在其中一个实施例中，将铝基板浸入碱液中进行碱蚀处理之前还包括步骤： 使用清洗剂对所述铝基板进行表面除脂处理。

在其中一个实施例中，所述碱蚀处理的温度为60℃～70℃，所述碱蚀处理的 时间为1分钟～3分钟。

在其中一个实施例中，所述酸洗处理的时间为0.5分钟～1分钟。

在其中一个实施例中，所述第一次浸锌处理的时间为60秒～90秒，所述退 锌处理的时间为5秒～15秒，所述第二次浸锌处理的时间为30秒～60秒。

在其中一个实施例中，所述化学镀镍液的温度为46℃～60℃，所述化学镀镍 处理的时间为60分钟～90分钟。

上述二氧化碳激光器的放电电极及其制备方法，通过在铝基板的表面沉积 一层镍层，镍层抗高温能力、抗氧化能力及表面硬度均大大优于铝，铝基板的 表面形成镍层，能提高放电电极的硬度，避免在运输、保存及装配过程中划伤 放电电极；镍层提高了放电电极的抗高温性能，避免放电电极在使用过程灼烧 变色及氧化，从而避免了二氧化碳激光器放电不均及激光功率的波动；镍层避 免放电电极氧化而消耗工作气体的氧原子，从而避免因放电电极氧化引起的激 光功率下降；镍层的表面电子逸出能大约是铝表面的1/3左右，可以降低启辉电 压并使辉光放电更加的平稳，经测试证明在铝质电极表面沉积一层镍层大大提 高了二氧化碳激光器功率的稳定性及使用寿命。

附图说明

图1为本发明一实施方式的二氧化碳激光器的结构示意图；

图2为图1中二氧化碳激光器的部分元件的另一角度的结构示意图；

图3是图2中的二氧化碳激光器的放电电极的结构示意图。

具体实施方式

下面主要结合具体实施例及附图对二氧化碳激光器的放电电极、其制备方 法及使用该放电电极的二氧化碳激光器作进一步详细的说明。

请参阅图1，一实施方式的二氧化碳激光器100包括外壳10、放电电极20、 全反射镜30及输出镜40。

外壳10形成一个封闭的空间。具体在本实施方式中，外壳10为金属外壳。 外壳10内填充有工作气体，在本实施方式中，工作气体包括CO₂、N₂及He。 外壳10形成有用于输出激光的输出窗12。

请同时参阅图2，放电电极20共有两个，其中一个放电电极20与射频电源 连接，为正极板；另一个放电电极接地，为负极板。放电电极20大致为板状， 两个放电电极20相对设置，两个放电电极20之间形成有间距。

请一并参阅图3，放电电极20朝向另一个放电电极20的面为放电面22， 远离另一个放电电极20的表面为固定面24，固定面24开设有螺孔26，从而将 两个放电电极固定的收容于外壳10内。

全反射镜30及输出镜40固设于外壳10内，且分别位于放电电极20的两 端，且输出镜40正对输出窗12。

放电电极20包括铝基板及形成于铝基板表面的镍层。优选的，镍层的厚度 为0.015mm～0.03mm。铝基板的厚度为10mm～50mm。镍层抗高温能力、抗氧化 能力及表面硬度均大大优于铝，且镍层的表面电子逸出能大约是铝表面的1/3左 右，可以降低启辉电压并使辉光放电更加的平稳。

上述二氧化碳激光器及其放电电极，通过在铝基板的表面沉积一层镍层， 镍层抗高温能力、抗氧化能力及表面硬度均大大优于铝，铝基板的表面形成镍 层，能提高放电电极的硬度，避免在运输、保存及装配过程中划伤放电电极； 镍层提高了放电电极的抗高温性能，避免放电电极在使用过程灼烧变色及氧化， 从而避免了二氧化碳激光器因灼烧及氧化导致的放电不均及激光功率的波动； 镍层能避免放电电极氧化而消耗工作气体的氧原子，从而避免因放电电极氧化 引起的激光功率下降；镍层的表面电子逸出能大约是铝表面的1/3左右，可以降 低启辉电压并使辉光放电更加的平稳，经测试证明在铝质电极表面沉积一层镍 层大大提高了二氧化碳激光器功率的稳定性及使用寿命。

上述放电电极可以通过在铝基板的表面电镀镍或化学沉镍的方式制备，以 下以化学沉镍为例进行说明。

一实施方式的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法，包括以下步骤：

步骤S110、使用清洗剂对铝基板进行表面除脂处理。

优选的，采用超声波清洗的方式对铝基板进行表面除脂处理。

优选的，采用32#铝合金专用除油清洗剂进行清洗。进一步的，将32#铝 合金专用除油清洗剂与水混合形成浓度为100g/L～150g/L的清洗液进行超声清 洗，超声清洗的温度为60℃～70℃，超声清洗的时间为2分钟～4分钟。

进一步的，除脂处理后清洗并干燥。优选的，采用去离子进行清洗。

需要说明的是，如果铝基板表面是干净的，步骤S110可以省略。

步骤S120、将铝基板浸入碱液中进行碱蚀处理。

其中，碱液含有氢氧化钠、碳酸钠及磷酸三钠，碱液中氢氧化钠的浓度为 15g/L～20g/L，碳酸钠的浓度为20g/L～30g/L，磷酸三钠(Na₃PO₄)的浓度为 20g/L～30g/L。

优选的，碱蚀处理的温度为60℃～70℃，碱蚀处理的时间为1分钟～3分钟。

优选的，碱液还包括碱蚀添加剂，碱蚀添加剂为氟化钠，碱液中碱蚀添加 剂的浓度为15g/L～25g/L。

步骤S130、将碱蚀处理后的铝基板清洗并干燥后浸入酸液中进行酸洗处理。

其中，酸液含有硝酸及氟化氢。酸液中硝酸的浓度为420g/L～580g/L，氟化 氢的浓度为80g/L～140g/L。

酸洗可以去除碱蚀的残留。

优选的，酸洗处理的时间为0.5分钟～1分钟。酸洗在室温下进行。

步骤S140、将酸洗处理后的所述铝基板清洗并干燥后浸入锌液中进行第一 次浸锌处理。

其中，锌液含有氢氧化钠、氧化锌、酒石酸钾钠(KNaC₄H₄O₆·4H₂O)及三 氯化铁，锌液中氢氧化钠的浓度为480g/L～520g/L，氧化锌的浓度为 90g/L～120g/L，KNaC₄H₄O₆的浓度为8g/L～12g/L，三氯化铁的浓度为 1.5g/L～2.5g/L。

优选的，第一次浸锌处理的时间为60秒～90秒。第一次浸锌在室温下进行。

步骤S150、将第一次浸锌处理后的铝基板放入退锌液中进行退锌处理。

其中，退锌液含有硝酸及氟化氢，退锌液中硝酸的浓度为530g/L～580g/L， 氟化氢的浓度为10g/L～55g/L。

优选的，退锌处理的时间为5秒～15秒。退锌在室温下进行。

步骤S160、将退锌处理后的铝基板浸入锌液中进行第二次浸锌处理。

其中，锌液含有氢氧化钠、氧化锌、酒石酸钾钠(KNaC₄H₄O₆·4H₂O)及三 氯化铁，锌液中氢氧化钠的浓度为480g/L～520g/L，氧化锌的浓度为 90g/L～120g/L，KNaC₄H₄O₆的浓度为8g/L～12g/L，三氯化铁的浓度为 1.5g/L～2.5g/L。

优选的，第二次浸锌处理的时间为30秒～60秒。第二次浸锌在室温下进行。

步骤S170、将第二次浸锌处理后的铝基板清洗并干燥后浸入化学镀镍液中 进行化学镀镍处理。

化学镀镍液含有硫酸镍(NiSO₄·6H₂O)、次亚磷酸钠(NaH₂PO₂·H₂O)、 柠檬酸钠(Na₃C₆H₅O₇·2H₂O)、氯化铵(NH₄Cl)及三乙醇胺((HOCH₂CH₂)₃N)， 化学镀镍液中NiSO₄的浓度为30g/L，NaH₂PO₂的浓度为30g/L，Na₃C₆H₅O₇的 浓度为100g/L，氯化铵的浓度为40g/L，三乙醇胺的浓度为100g/L，化学镀镍液 的pH值为9～10。

优选的，化学镀镍液的温度为46℃～60℃，化学镀镍处理的时间为60分钟 ～90分钟。

步骤S180、将经过化学镀镍处理的铝基板清洗干燥后在100℃～150℃下进 行退火处理。

优选的，退火处理的时间为2小时～3小时。

优选的，干燥采用吹干的方式。清洗采用水洗。

上述二氧化碳激光器的放电电极的制备方法操作简单，制备的镍层与铝基 板的结合力较高。

以下结合具体实施例进行详细说明。

实施例1

实施例1的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法包括以下步骤：

1、将32#铝合金专用除油清洗剂与水混合形成浓度为150g/L的清洗液对 铝基板进行超声清洗进行除脂处理，超声清洗的温度为60℃，超声清洗的时间 为2分钟，铝基板的材料为6061，厚度为20mm。

2、将除脂处理后的铝基板水洗并干燥后浸入碱液中进行碱蚀处理，碱液含 有氢氧化钠、碳酸钠、磷酸三钠及氟化钠，碱液中氢氧化钠的浓度为15g/L，碳 酸钠的浓度为20g/L，磷酸三钠(Na₃PO₄)的浓度为20g/L，氟化钠的浓度为20g/L， 碱蚀处理的温度为70℃，碱蚀处理的时间为1分钟。

3、碱蚀处理后的铝基板清洗并干燥后浸入酸液中进行酸洗处理，酸液由含 有硝酸及氟化氢，酸液中硝酸的浓度为500g/L，所述氟化氢的浓度为100g/L； 酸洗在室温下进行，酸洗处理的时间为0.5分钟。

4、将酸洗处理后的所述铝基板清洗并干燥后浸入锌液中进行第一次浸锌处 理，锌液含有氢氧化钠、氧化锌、酒石酸钾钠(KNaC₄H₄O₆·4H₂O)及三氯化铁， 锌液中氢氧化钠的浓度为480g/L，氧化锌的浓度为90g/L，KNaC₄H₄O₆的浓度为 8g/L，三氯化铁的浓度为1.5g/L，第一次浸锌在室温下进行，第一次浸锌处理的 时间为90秒。

5、将第一次浸锌处理后的铝基板放入退锌液中进行退锌处理，退锌液含有 硝酸及氟化氢，退锌液中硝酸的浓度为550g/L，氟化氢的浓度为35g/L；退锌在 室温下进行，退锌处理的时间为5秒。

6、将退锌处理后的铝基板浸入锌液中进行第二次浸锌处理，锌液含有氢氧 化钠、氧化锌、酒石酸钾钠(KNaC₄H₄O₆·4H₂O)及三氯化铁，锌液中氢氧化钠 的浓度为480g/L，氧化锌的浓度为90g/L，KNaC₄H₄O₆的浓度为8g/L，三氯化 铁的浓度为1.5g/L，第二次浸锌在室温下进行，第二次浸锌处理的时间为60秒。

7、将第二次浸锌处理后的铝基板清洗并干燥后浸入化学镀镍液中进行化学 镀镍处理，化学镀镍液含有硫酸镍(NiSO₄·6H₂O)、次亚磷酸钠(NaH₂PO₂·H₂O)、 柠檬酸钠(Na₃C₆H₅O₇·2H₂O)、氯化铵(NH₄Cl)及三乙醇胺((HOCH₂CH₂)₃N)， 化学镀镍液中NiSO₄的浓度为30g/L，NaH₂PO₂的浓度为30g/L，Na₃C₆H₅O₇的 浓度为100g/L，氯化铵的浓度为40g/L，三乙醇胺的浓度为100g/L，化学镀镍液 的pH值为9，化学镀镍液的温度为60℃，化学镀镍处理的时间为60分钟。

8、将经过化学镀镍处理的铝基板清洗并吹干后在150℃下进行退火2小时。

制备的二氧化碳激光器的放电电极的镍层的厚度为0.015mm。

实施例2

实施例2的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法包括以下步骤：

1、将32#铝合金专用除油清洗剂与水混合形成浓度为100g/L的清洗液对 铝基板进行超声清洗进行除脂处理，超声清洗的温度为70℃，超声清洗的时间 为4分钟，铝基板的材料为6061，厚度为20mm。

2、将除脂处理后的铝基板水洗并干燥后浸入碱液中进行碱蚀处理，碱液含 有氢氧化钠、碳酸钠、磷酸三钠及氟化钠，碱液中氢氧化钠的浓度为20g/L，碳 酸钠的浓度为30g/L，Na₃PO₄的浓度为30g/L，氟化钠的浓度为20g/L，碱蚀处 理的温度为60℃，碱蚀处理的时间为3分钟。

3、碱蚀处理后的铝基板清洗并干燥后浸入酸液中进行酸洗处理，酸液含有 硝酸及氟化氢，酸液中硝酸的浓度为500g/L，所述氟化氢的浓度为100g/L；酸 洗在室温下进行，酸洗处理的时间为1分钟。

4、将酸洗处理后的所述铝基板清洗并干燥后浸入锌液中进行第一次浸锌处 理，锌液含有氢氧化钠、氧化锌、酒石酸钾钠(KNaC₄H₄O₆·4H₂O)及三氯化铁， 锌液中氢氧化钠的浓度为520g/L，氧化锌的浓度为120g/L，KNaC₄H₄O₆的浓度 为12g/L，三氯化铁的浓度为2.5g/L，第一次浸锌在室温下进行，第一次浸锌处 理的时间为60秒。

5、将第一次浸锌处理后的铝基板放入退锌液中进行退锌处理，退锌液含有 硝酸及氟化氢，退锌液中硝酸的浓度为550g/L，氟化氢的浓度为35g/L；退锌在 室温下进行，退锌处理的时间为15秒。

6、将退锌处理后的铝基板浸入锌液中进行第二次浸锌处理，锌液含有氢氧 化钠、氧化锌、酒石酸钾钠(KNaC₄H₄O₆·4H₂O)及三氯化铁，锌液中氢氧化钠 的浓度为520g/L，氧化锌的浓度为120g/L，KNaC₄H₄O₆的浓度为12g/L，三氯 化铁的浓度为2.5g/L；第二次浸锌在室温下进行，第二次浸锌处理的时间为30 秒。

7、将第二次浸锌处理后的铝基板清洗并干燥后浸入化学镀镍液中进行化学 镀镍处理，化学镀镍液含有硫酸镍(NiSO₄·6H₂O)、次亚磷酸钠(NaH₂PO₂·H₂O)、 柠檬酸钠(Na₃C₆H₅O₇·2H₂O)、氯化铵(NH₄Cl)及三乙醇胺((HOCH₂CH₂)₃N)， 化学镀镍液中NiSO₄的浓度为30g/L，NaH₂PO₂的浓度为30g/L，Na₃C₆H₅O₇的 浓度为100g/L，氯化铵的浓度为40g/L，三乙醇胺的浓度为100g/L，化学镀镍液 的pH值为10，化学镀镍液的温度为46℃，化学镀镍处理的时间为90分钟。

8、将经过化学镀镍处理的铝基板清洗并吹干后在100℃下进行退火3小时。

制备的二氧化碳激光器的放电电极的镍层的厚度为0.03mm。

实施例3

实施例3的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法包括以下步骤：

1、将32#铝合金专用除油清洗剂与水混合形成浓度为100g/L的清洗液对 铝基板进行超声清洗进行除脂处理，超声清洗的温度为70℃，超声清洗的时间 为4分钟，铝基板的材料为6061，厚度为20mm。

2、将除脂处理后的铝基板水洗并干燥后浸入碱液中进行碱蚀处理，碱液含 有氢氧化钠、碳酸钠、磷酸三钠及氟化钠，碱液中氢氧化钠的浓度为20g/L，碳 酸钠的浓度为30g/L，磷酸三钠(Na₃PO₄)的浓度为30g/L，氟化钠(碱蚀添加剂) 的浓度为20g/L，碱蚀处理的温度为60℃，碱蚀处理的时间为3分钟。

3、碱蚀处理后的铝基板清洗并干燥后浸入酸液中进行酸洗处理，酸液含有 硝酸及氟化氢，酸液中硝酸的浓度为500g/L，氟化氢的浓度为100g/L；酸洗在 室温下进行，酸洗处理的时间为1分钟。

4、将酸洗处理后的所述铝基板清洗并干燥后浸入锌液中进行第一次浸锌处 理，锌液含有氢氧化钠、氧化锌、酒石酸钾钠(KNaC₄H₄O₆·4H₂O)及三氯化铁， 锌液中氢氧化钠的浓度为520g/L，氧化锌的浓度为120g/L，KNaC₄H₄O₆的浓度 为12g/L，三氯化铁的浓度为2.5g/L，第一次浸锌在室温下进行，第一次浸锌处 理的时间为60秒。

5、将第一次浸锌处理后的铝基板放入退锌液中进行退锌处理，退锌液含有 硝酸及氟化氢，退锌液中硝酸的浓度为550g/L，氟化氢的浓度为35g/L；退锌在 室温下进行，退锌处理的时间为15秒。

6、将退锌处理后的铝基板浸入锌液中进行第二次浸锌处理，锌液含有氢氧 化钠、氧化锌、酒石酸钾钠(KNaC₄H₄O₆·4H₂O)及三氯化铁，锌液中氢氧化钠 的浓度为520g/L，氧化锌的浓度为120g/L，KNaC₄H₄O₆的浓度为12g/L，三氯 化铁的浓度为2.5g/L；第二次浸锌在室温下进行，第二次浸锌处理的时间为30 秒。

7、将第二次浸锌处理后的铝基板清洗并干燥后浸入化学镀镍液中进行化学 镀镍处理，化学镀镍液含有硫酸镍(NiSO₄·6H₂O)、次亚磷酸钠(NaH₂PO₂·H₂O)、 柠檬酸钠(Na₃C₆H₅O₇·2H₂O)、氯化铵(NH₄Cl)及三乙醇胺((HOCH₂CH₂)₃N)， 化学镀镍液中NiSO₄的浓度为30g/L，NaH₂PO₂的浓度为30g/L，Na₃C₆H₅O₇的 浓度为100g/L，氯化铵的浓度为40g/L，三乙醇胺的浓度为100g/L，化学镀镍液 的pH值为10，化学镀镍液的温度为46℃，化学镀镍处理的时间为60分钟。

8、将经过化学镀镍处理的铝基板清洗并吹干后在100℃下进行退火3小时。

制备的二氧化碳激光器的放电电极的镍层的厚度为0.015mm。

对实施例3制备的放电电极及对比例的普通放电电极(材料为6061，厚度 为20mm)各五个，应用于二氧化碳激光器进行使用寿命及功率进行测试，得到 功率稳定性及平均使用寿命的测试结果，结果见表1。

表1

项目 功率稳定性 平均使用寿命 对比例 15％ 3万小时 实施例3 10％ 5万小时

1)平均使用寿命为放电电极的平均无故障工作时间，工作条件为：0-35℃， 10-90RH％，冷却水温在20-30℃。

2)功率稳定度测试条件为：28℃，60RH％，冷却水温为25℃，冷态开机2 分钟后连续测试10分钟时的功率稳定性S，S为最大功率与最小功率的差值和 平均功率的两倍之间的比值(S＝(Pmax-Pmin)/2Pave)。

从表1可以看出，对表面形成有镍层的放电电极的使用寿命明显提高，功 率稳定性明显提高。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对 上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技 术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的 普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改 进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权 利要求为准。