用于天文望远镜副镜位置控制的高精度五维调节机构

摘要

用于天文望远镜副镜位置控制的高精度五维调机构，其特征在于，自下而上地设有：底板I、？底板II、底板III；其中底板I与望远镜机架相连，所述底板I与底板II之间，由一组X向弹性片固定联接，并设有X向直线电机；所述底板II与底板III之间，由一组Y向弹性片固定联接，并设有Y向直线电机；所述底板III的上面通过位移促动器I、位移促动器II与位移促动器III设置有镜面安装板；望远镜的副镜安装在该镜面安装板上。本发明结构简单，镜面在各自由度方向上的调节过程中不会出现间隙或空回现象。该天文望远镜副镜位置控制的高精度五维调节机构的位置调节精度在平动方向优于2微米，转动定位精度优于2角秒。