法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-03
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F3/00 申请公布日:20160420 申请日:20151201
发明专利申请公布后的驳回
2016-05-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F3/00 申请日:20151201
实质审查的生效
2016-04-20
公开
公开
机译: 铜基金属抛光剂,半导体器件的制造方法,抛光剂,铝基金属抛光剂和钨基金属抛光剂
机译: 包含抛光剂,氧化剂的金属CMP抛光组合物,至少一种是选自基于聚(羧酸)的共聚物或其盐,基于磷酸的化合物和基于硫磺酸的化合物,以及阴离子的复合剂,以及一种方法组成的金属
机译: 用于玻璃,镜子,金属等的塑料抛光剂的改进组合物及其制备方法