首页> 中国专利> 观察支持装置、观察支持方法及观察支持系统

观察支持装置、观察支持方法及观察支持系统

摘要

本发明提供一种观察支持装置、观察支持方法及观察支持系统。观察支持方法包括:准备表示基材上的图案的图案图像,所述基材具有周期性地排列的多个组件、及将组件间加以连接的多个配线;受理将所述图案图像的表示所述图案的图案区域中的一个位置指定为指定位置的输入;将所述图案区域中与所述指定位置相连的区域特定为特定区域;以及能够识别所述特定区域并且使所述图案图像显示于显示部。由此,能够使作业人员容易识别图案区域中与指定位置相连的区域,从而可适当支持作业人员对图案图像的观察。

著录项

  • 公开/公告号CN105466948A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-04-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 斯克林集团公司;

    申请/专利号CN201510434981.5

  • 发明设计人 藤原成章;

    申请日2015-07-22

  • 分类号G01N21/892;

  • 代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;

  • 代理人张洋

  • 地址 日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1

  • 入库时间 2023-12-18 15:20:38

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-09-11

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N21/892 申请公布日:20160406 申请日:20150722

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2016-05-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/892 申请日:20150722

    实质审查的生效

  • 2016-04-06

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号