碳纳米管的制造装置及成为该制造装置的一部分的供给单元以及碳纳米管的制造方法

摘要

本发明提供一种制造装置作为提高通过气相催化法所制造的碳纳米管的生产性的手段，所述制造装置为通过气相催化法来制造碳纳米管的制造装置10，其特征在于具备：第一腔室14，具有作为形成碳纳米管的区域的成长区域；第一调温装置16、第一调温装置18，可调整第一腔室内14的成长区域的温度；调压装置23、调压装置24，可调整第一腔室14内的压力；第一供给装置30，可对第一腔室14内的成长区域供给碳源；第一气化装置(包含加热器31B)，可将配置在制造装置10内的液体L气化；第一气化装置(包含加热器31B)可将液体L气化，以将由液体L所含有的含铁族元素物质及含卤素物质所形成的至少一种气相催化剂供给至第一腔室14内的成长区域。