用于确定检查对象的位置的系统以及相关方法

摘要

本发明涉及一种用于确定检查对象(400)的位置的系统(100)，所述系统包括如下特征：自准直望远镜(200)，具有用于发射光束的光束源(210)，分束器(220)，检测器单元(230)和物镜(240)，以及设计为聚焦设备(110)的光学元件，其中检查对象(400)、光束源(210)和聚焦设备(110)沿着共同的光学轴(z)布置，用于控制聚焦设备的控制设备(300)，所述聚焦设备如此成使得光束可以聚焦在具有坐标(x1、y1)的检查对象(400)的第一检查面(401)的曲率中心上以及至少可以聚焦在具有坐标(x2、y2)的检查对象(400)的第二检查面(402)的曲率中心上。