亚电压驱动的100兆赫带宽的电光调制器

摘要

本发明公开了一种电光调制器及其制造方法，所述电光调制器包括马赫曾德尔干涉仪，马赫曾德尔干涉仪设置在去除了半导体层和共面波导的基板内部。从共面波导中传出的信号通过第一、第二介电层与马赫曾德尔干涉仪电容耦合，第一、第二介电层具有很强的介电常数色散。