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膜生产方法、膜生产过程监控装置和膜检查方法

摘要

本发明的目的在于使用简单的方法以高精度确定膜的特性。一种使用膜生成过程监控装置(100)制造膜的方法(1)包括:波谱获取步骤,其用于从光源(10)朝向沿方向A移动的膜(1)照射宽带光(L1)(其为近红外光),从而在光接收单元(30)中接收从膜(1)发出的漫反射光(L2),并由此在分析仪(40)的波谱获取单元(40a)中获取漫反射光(L2)的波谱;以及物理值计算步骤,其用于根据所获取的漫反射光(L2)的波谱计算与膜(1)相关的物理值。由于通过获取波谱可以得到表示膜(1)的特性的物理值,因此可以以简单的方式确定膜的特性,并且例如可以从波谱获取多条信息。因此,可以以高精度确定膜的特性。

著录项

  • 公开/公告号CN105074429A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-11-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 住友电气工业株式会社;

    申请/专利号CN201480008144.X

  • 申请日2014-03-03

  • 分类号G01N21/3563;C08J5/18;

  • 代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人顾红霞

  • 地址 日本大阪府

  • 入库时间 2023-12-18 12:06:53

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-01-09

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N21/3563 申请公布日:20151118 申请日:20140303

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2015-12-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/3563 申请日:20140303

    实质审查的生效

  • 2015-11-18

    公开

    公开

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