公开/公告号CN105027260A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-04
原文格式PDF
申请/专利权人 大日本印刷株式会社;
申请/专利号CN201480012525.5
申请日2014-01-22
分类号H01L21/027(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人田喜庆;吴孟秋
地址 日本东京
入库时间 2023-12-18 11:47:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-03
授权
授权
2016-03-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20140122
实质审查的生效
2015-11-04
公开
公开
机译: 用于校正带电粒子束的照射位置的程序,用于校正带电粒子束的照射位置的装置,带电粒子束的照射系统以及用于校正带电粒子束的照射位置的方法
机译: 校正程序的带电粒子束照射位置,粒子束照射位置的带电校正量计算单元,带电粒子照射系统,带电粒子束照射位置的校正方法
机译: 带电粒子束照射装置,带电粒子束照射方法和带电粒子束照射程序。