柔性元件的制造方法、柔性元件、柔性元件制造装置及用以形成柔性基板的树脂溶液

摘要

本发明提供一种柔性元件的制造方法、柔性元件、柔性元件制造装置及用以形成柔性基板的树脂溶液，其为简易的方法且制造成本低，并且可应用于各种树脂，容易从形成了功能层的柔性基板上除去硬质支撑体。本发明的柔性元件的制造方法包括以下各工序：柔性基板形成工序，在硬质支撑体上涂布树脂溶液而在硬质支撑体上形成柔性基板；功能层形成工序，在所述柔性基板上形成功能层；及支撑体除去工序，将所述形成了功能层的柔性基板连同功能层一起从硬质支撑体上除去，并且所述柔性元件的制造方法中：在所述柔性基板形成工序中，对硬质支撑体进行加热处理后涂布树脂溶液。