手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台

摘要

本发明提供手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台，它们相对于通过手动转动手柄来使滑动部件移动的以往的载物台，通过装拆简单的机构能自如选择自动与手动，并能通过手动进行微调。手动载物台用电动化单元(1)具备：夹钳(3)，通过夹入手动载物台(10)的滑动部件(12)或固定部件(11)以防止共同转动；联轴器(9)，保持与手柄轴(18)大致同轴并与手柄(13)结合；联轴器用爪(7)，抓持旋钮部(19)；以及马达，使联轴器(9)转动，通过在手动载物台(10)上装拆该电动化单元来选择手动操作或自动操作中的任意一方，通过将该电动化单元安装到手动载物台(10)上构成附有电动化单元的手动载物台(20)。

说明书

技术领域

本发明涉及一种手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动 载物台，尤其涉及一种安装于用手动使滑动部件或固定部件移动的手动 载物台上并以自动的方式使滑动部件或固定部件移动的电动化单元、以 及安装有该电动化单元的手动载物台。

背景技术

例如，在安装电荷耦合器件(CCD，Charge Coupled Device)相机或 传感器等电气电子设备、镜头或显微镜等光学设备、发光二极管(LED， Light Emitting Diode)等照明设备等时，有时为了定位或对焦而必须进行 位置调整。另外，在所述的设备安装之后，有时也必须进一步对所述的 设备的位置进行微调。所述电气电子设备、光学设备、照明设备等通常 设置于被称为“载物台”的机械设备上进行位置调整或位置微调。此外， 在本说明书中，将为了定位或对焦而需要进行位置调整或位置微调的设 备统称为“精密设备”。

此外，在所述的载物台中，利用者通过操作手柄使精密设备移动的 载物台被称为“手动载物台”，其由滑动部件、固定部件及手柄构成。 所述手动载物台是下述的设备：通过滑动机构连接滑动部件与固定部件， 并以绕轴转动的方式对设置于滑动部件或固定部件的手柄进行转动操 作，使滑动部件相对于固定部件移动，由此调整精密设备的位置。按照 该手动载物台的滑动机构，该手动载物台包括燕尾槽式载物台、进给丝 杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、简易滚珠式载物 台、燕尾槽滑轨式载物台等。另外，各个载物台按照使用目的而具有多 种多样的形式，例如，在燕尾槽式载物台的情况下，具有沿一方向滑动 的X轴燕尾槽式载物台、沿大体垂直的两个方向滑动的XY轴燕尾槽式 载物台、沿上下方向滑动的Z轴燕尾槽式载物台等。

图6至图16将所述的多种多样形式的实施例表示在附图中。图6是 X轴载物台的实施例。图7是X轴载物台(手柄加长型)的实施例。图 8是XY轴载物台的实施例。图9是Z轴载物台的实施例。图10是X轴 载物台的实施例。图11是Z轴载物台的实施例。图12是X轴载物台的 实施例。图13是X轴载物台(燕尾槽进给丝杠型)的实施例。图14是 X轴载物台(燕尾槽细进给丝杠型)的实施例。图15是X轴载物台(燕 尾槽细进给丝杠型)的实施例。此外，图16是X轴载物台的实施例。

手动载物台通过驱动机构使滑动部件相对于固定部件移动来调整精 密设备的位置。例如，所述驱动机构有主要用于燕尾槽式载物台的齿条 和小齿轮、主要用于进给丝杠式载物台的外螺纹杆和内螺纹筒等。此外， 还有作为驱动机构不是用手动而是用自动或电动操作的自动载物台或电 动载物台。

精密设备通过紧固件安装于设置在载物台的滑动部件上侧的精密设 备安装孔。另外，通过将紧固件拧入基台固定孔由此将载物台的固定部 件固定于基台上。所述手动载物台通过拧紧设置在滑动部件上的滑动固 定螺丝而能够固定于固定部件上的任意位置，通过拧松所述滑动固定螺 丝而能够在固定部件上移动。

参照专利文献1的图2，说明齿条和小齿轮式手动载物台的驱动机 构。利用齿条和小齿轮的驱动机构将固定于滑动部件或固定部件的齿条 (专利文献1的图2的附图标记13)和以具有共同的转动轴的方式与手 柄连接且被滑动部件或固定部件支承的小齿轮(同附图标记14)卡合， 如果转动手柄(同附图标记9)，则小齿轮联动转动并在齿条上移动，由 此使滑动部件相对于固定部件滑动。即，利用齿条和小齿轮的驱动机构 是通过转动驱动手柄来使齿条和小齿轮动作的驱动机构。该齿条和小齿 轮式的手动载物台与后述的燕尾槽式载物台的滑动机构组合，转动一圈 手柄约移动18mm，是适用于需要快速且大幅度移动的情况的驱动机构。

参照专利文献1的图22来说明进给丝杠式手动载物台的驱动机构。 进给丝杠式的驱动机构将与安装精密设备的滑动部件的背面连接的内螺 纹筒(专利文献1的图22的附图标记306)和贯穿块体的外螺纹杆(同 附图标记307)卡合，所述块体固定在与基台连接的固定部件上，通过操 作手柄(同附图标记309)使外螺纹杆转动，由此使滑动部件相对于固定 部件移动。即，进给丝杠式的驱动机构是通过转动驱动手柄使外螺纹杆 和内螺纹筒动作的驱动机构。该进给丝杠式的手动载物台与后述燕尾槽 式载物台的滑动机构组合，转动一圈手柄，按照机构种类，以约0.5mm、 约1.0mm、约2.0mm、约4.2mm、约5.0mm、约10.0mm等间距进行移 动，是适用于要求耐负荷性且需要进行微小调整的驱动机构。

参照专利文献1的图1来说明利用燕尾槽的滑动机构。在齿条和小 齿轮式手动载物台及进给丝杠式手动载物台中，使滑动部件相对于固定 部件顺畅地滑动的滑动机构通常使用燕尾槽式手动载物台。所谓的燕尾 槽式手动载物台是嵌合具有凹陷为台形的燕尾槽(专利文献1的图1的 附图标记3)的固定部件和具有突出为台形的燕尾(同附图标记2)的滑 动部件，使滑动部件相对于固定部件顺畅地滑动的手动载物台。

该燕尾槽载物台仅为手动载物台，尚未开发出使载物台与马达等转 动驱动机构一体化的自动载物台(或电动载物台)。另一方面，与燕尾 槽载物台不同的、具备其他滑动机构的直线滚珠式载物台、交叉滚子式 载物台等，已经开发了内部组装有马达、控制装置等的自动载物台。此 外，该自动载物台(或电动载物台)通过该机构仅能进行自动操作(或 电动操作)，不能通过手动进行操作。

另外，专利文献2的图11公开了通过电动机进行手柄转动控制的系 统。在此，夹钳部件(图11的附图标记409)通过第一垫片与第一块体 连接，转动操作部(图11的附图标记406)通过第二垫片与夹钳部件连 接。此外，电动机(图11的附图标记32)及控制装置(图11的附图标 记33)通过连接器(图11的附图标记31)与转动操作部连接。即，电 动机是通过连接器与转动操作部的端部连接，通过电动机的转动操作使 外螺纹杆转动，使滑动部件相对于固定部件移动。

此外，在专利文献3中公开了能够根据使用便利性、所要求的功能 及使用用途选择安装于手动载物台主体上的部件的高功能手动载物台单 元及手动载物台构成系统。此外，公开了选择如图9所示的“手柄部件 (组)(图9中的附图标记5a～5e)”安装于图6所示的“手动载物台 主体(图6的附图标记2)”。其中，图9的(e)表示电动手柄部件(图 9的附图标记5e)，用于通过进一步包围与手柄连接夹具部件连接的手 柄部件的连接器，与电动机及控制装置连接，通过电动机进行手柄的转 动控制。所述的手柄部件全都与手动载物台主体的手柄连接部件的前端 螺纹部卡合，通过选择该电动手柄部件，将手动载物台扩张为电动载物 台。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本发明专利公报第4606501号

专利文献2：日本发明专利公报第4890652号

专利文献3：日本发明专利公报第4574716号

发明内容

本发明要解决的技术问题

如上所述，载物台与马达等转动驱动机构一体化的自动载物台或电 动载物台，由于在载物台上装设有马达等自动化装置，所以滑动部件的 移动仅限于自动操作。因此，对于习惯使用手动载物台的利用者而言存 在使用不便的情况。例如，有时调整位置时需要进行微妙的移动。此时， 较佳的是用手动进行调整，自动操作难以取代利用手动的微妙的手柄操 作。另外，如果想通过自动化(或电动化)实现利用手动的微妙的调整， 存在需要较高价位的控制机构和控制软件的问题。另外，因为载物台的 利用者无法将一体化的自动载物台安装于原有的手动载物台上，所以产 生必须新购买自动载物台的问题。

另外，对于专利文献2所示的通过电动机进行手柄的转动控制的系 统及专利文献3所示的电动载物台，为了将它们实用化并成为装拆自如 的单元，必须解决下述的三方面的技术问题。

第一，需要防止电动化单元本身因马达转动而共同转动的机构。即， 必须将电动化单元安装于不受马达转动影响的固定物体上。另外的问题 是该防止共同转动的机构必须是相对于手动载物台能容易地装拆的机 构。

第二，为了能够安装于原有的手动载物台的滑动部件或固定部件上， 需要能通用安装于多种多样尺寸的滑动部件或固定部件上的机构。另外， 为了使手动载物台的手柄转动，需要能通用地抓持多种多样尺寸的手柄 的机构。此外，因滑动部件、固定部件、手柄等存在制造误差，所以存 在下述问题：要求该机构能对应于制造误差可靠地进行安装及可靠地进 行抓持。

第三，需要即使在使载物台自动化了或电动化了的情况下也能容易 地微调载物台位置的机构。即，要求自动载物台(或电动式载物台)具 有作为手动载物台的优点的能微调的优点。关于该方面，存在下述问题： 为了在自动载物台(或电动式载物台)进行微调，需要复杂的控制机构 和使其动作的控制软件，在经济上是不利的。

本发明的目的在于解决所述的问题，并提供一种手动载物台用电动 化单元及附有电动化单元的手动载物台，它们相对于通过手动转动手柄 来使滑动部件或固定部件移动的以往的手动载物台，能够通过装拆简单 的机构自由地选择自动与手动，并且能够通过手动进行微调。

解决技术问题的技术方案

为了达成所述的目的，本发明提供一种手动载物台用电动化单元， 其安装于手动载物台，所述手动载物台通过驱动机构连接安装精密设备 的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转动操 作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备的位置，所述手动载 物台用电动化单元具备：转动防止用夹具，通过夹入所述手动载物台的 所述滑动部件或所述固定部件来防止共同转动；手柄驱动用连接部，保 持与手柄轴大致同轴并与所述手柄结合；手柄抓持部，抓持所述手柄的 旋钮部；以及马达，使所述手柄驱动用连接部转动，通过装拆所述手动 载物台用电动化单元来选择手动操作或自动操作中的任意一方。

按照该构成，电动化单元能装拆自如地安装于手动载物台。此外， 通过装拆电动化单元能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。由此， 利用者通过将新购买的电动化单元安装于已经购买的手动载物台上就能 够设定成自动操作模式(或电动操作模式)。另外，通过卸除被安装了 的电动化单元能够复原回手动操作模式，因此能够提高载物台的使用便 利性。如此，利用者能够灵活利用手动操作的优点及自动操作或电动操 作的各自优点而分别使用。

所述电动化单元由转动防止用夹具、手柄驱动用连接部、手柄抓持 部及马达构成。此外，通过夹入手动载物台的滑动部件或固定部件的转 动防止用夹具能够防止共同转动。另外，通过转动防止用夹具能够夹入 尺寸不同的滑动部件或固定部件。另外，即使滑动部件或固定部件的尺 寸精度存在偏差也能够通过转动防止用夹具可靠地夹入滑动部件或固定 部件。另外，通过手柄驱动用连接部能够保持与手柄轴大致同轴并与手 柄结合。此外，通过手柄抓持部能够可靠地抓持尺寸精度存在偏差的手 柄的旋钮部。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，通过用手动 对所述手柄驱动用连接部进行转动操作来使被所述手柄抓持部抓持的所 述手柄的所述旋钮部转动，由此微调所述精密设备的位置。由此，除了 所述手动操作及自动操作以外，通过停止自动操作，能够利用手柄驱动 用连接部用手动微调手柄。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述转动防 止用夹具是一对夹钳，所述转动防止用夹具具备开闭机构，所述开闭机 构使所述夹钳的前端部相互打开或闭合，由此装拆自如地夹入所述滑动 部件或所述固定部件。由此，能够利用简单的机构可靠地防止共同转动。 另外，通过转动防止用夹具能够夹入尺寸不同的滑动部件或固定部件。 此外，即使滑动部件或固定部件的尺寸精度存在偏差，通过转动防止用 夹具也能够可靠地夹入滑动部件或固定部件。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述开闭机 构通过使齿轮以绕轴转动的方式转动，使连接的转轮转动，进行一方的 夹钳的前端部的开闭，使与所述转轮啮合的正齿轮与所述转轮的转动联 动，进行另一方的夹钳的前端部的开闭，由此使一对夹钳的前端部相互 打开或闭合。通过所述开闭机构，能够利用简单的机构可靠地防止共同 转动。另外，通过转动防止用夹具能够夹入尺寸不同的滑动部件或固定 部件。此外，即使滑动部件或固定部件的尺寸精度存在偏差，也能够通 过转动防止用夹具可靠地夹入滑动部件或固定部件。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述手柄抓 持部通过爪状夹头装置装拆自如地抓持所述手柄的所述旋钮部。如此， 通过简单的机构能够可靠地抓持手柄的旋钮部。另外，通过将所述的夹 头机构替换成大小不同的其他夹头机构，能够对应多种多样的大小的旋 钮部。此外，能够可靠地抓持尺寸精度存在偏差的手柄的旋钮部。

为了达成所述目的，本发明还提供一种手动载物台，其通过驱动机 构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手 柄绕轴转动的转动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备 的位置，所述手动载物台通过安装电动化单元能够选择自动操作，所述 电动化单元具备：转动防止用夹具，通过夹入所述滑动部件或所述固定 部件来防止共同转动；手柄驱动用连接部，保持与手柄轴大致同轴并与 所述手柄结合；手柄抓持部，抓持所述手柄的旋钮部；以及马达，使所 述手柄驱动用连接部转动。

按照该构成，能装拆自如地安装电动化单元的手动载物台，通过装 拆电动化单元能够自由地选择手动操作或自动操作中的任意一方。由此， 利用者能够将已经购买的手动载物台设定成自动操作模式(或电动操作 模式)。另外，通过卸除被安装上的电动化单元就能够切换成手动操作 模式，由此能够提高载物台的使用便利性。如此，利用者能够灵活利用 手动操作的优点及自动操作或电动操作的各自优点而分别使用。

所述电动化单元由转动防止用夹具、手柄驱动用连接部、手柄抓持 部及马达构成。此外，通过夹入手动载物台的滑动部件或固定部件的转 动防止用夹具能够防止共同转动。另外，通过转动防止用夹具能够夹入 尺寸不同的滑动部件或固定部件。另外，通过手柄驱动用连接部能够保 持与手柄轴大致同轴并与手柄结合。此外，通过手柄抓持部能够可靠地 抓持尺寸精度存在偏差的手柄的旋钮部。

另外，在所述手动载物台中，优选的是，通过用手动对被安装上的 所述电动化单元的所述手柄驱动用连接部进行转动操作来使被所述手柄 抓持部抓持的所述手柄的所述旋钮部转动，由此微调所述精密设备的位 置。如此，除了所述的手动操作及自动操作以外，通过停止自动操作， 能够利用手柄驱动用连接部用手动微调手柄。

为了达成所述目的，本发明还提供一种手动载物台用电动化单元， 其安装于手动载物台，所述手动载物台通过驱动机构连接安装精密设备 的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转动操 作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备的位置，所述手动载 物台用电动化单元具备：夹持固定部，以夹入所述滑动部件或所述固定 部件的方式进行固定；电动化单元主体，保持与手柄轴大致同轴并与所 述滑动部件或所述固定部件的所述手柄连接；以及马达，使所述手柄转 动，通过装拆所述手动载物台用电动化单元来选择手动操作或自动操作 中的任意一方。

按照该构成，电动化单元能装拆自如地安装于手动载物台。此外， 通过装拆电动化单元能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。由此， 利用者通过将新购买的电动化单元安装于已经购买的手动载物台上就能 够设定成自动操作模式(或电动操作模式)。另外，通过卸除被安装上 的电动化单元就能够返回手动操作模式，能够提高载物台的使用便利性。 如此，利用者能够灵活利用手动操作的优点及自动操作或电动操作的各 自优点而分别使用。

该电动化单元由以夹入滑动部件或固定部件进行固定的夹持固定 部、保持与手柄轴大致同轴并与滑动部件或固定部件的手柄连接的电动 化单元主体及使手柄转动的马达构成。此外，通过固定手动载物台的滑 动部件或固定部件的夹持固定部能够防止共同转动。另外，通过夹持固 定部能够夹入尺寸不同的滑动部件或固定部件。另外，即使滑动部件或 固定部件的尺寸精度存在偏差也能够通过夹持固定部可靠地夹入滑动部 件或固定部件。另外，通过电动化单元主体能够保持与手柄轴大致同轴 并与手柄结合。此外，通过电动化单元主体能够可靠地抓持尺寸精度存 在偏差的手柄的旋钮部。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述夹持固 定部是框架，所述框架包括开设有螺栓孔的夹板与贯穿螺栓，通过用所 述框架从两侧夹入所述滑动部件或所述固定部件并拧紧螺母来紧固所述 滑动部件或所述固定部件。由此，利用简单的机构就能够可靠地防止共 同转动。另外，即使滑动部件或固定部件的大小不同也能够通过所述框 架夹入滑动部件或固定部件。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述电动化 单元主体具备微调旋钮，所述微调旋钮保持与所述滑动部件或所述固定 部件的手柄轴大致同轴并用手动使所述手柄转动。由此，除了所述手动 操作及自动操作以外，通过停止自动操作模式，能够利用手柄驱动用连 接部用手动微调手柄。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，从所述手柄 去掉了旋钮部的手柄轴与所述电动化单元主体连接。由此，能够利用简 单的机构使手柄转动。另外，能够抓持尺寸精度较好的手柄轴而不抓持 尺寸精度较差的手柄的旋钮部。

为了达成所述目的，本发明还提供一种手动载物台，其通过驱动机 构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手 柄绕轴转动的转动操作来使滑动部件转动，由此调整所述精密设备的位 置，所述手动载物台通过安装电动化单元能够选择自动操作，所述电动 化单元具备：夹持固定部，以夹入所述滑动部件或所述固定部件的方式 进行固定；电动化单元主体，保持与手柄轴大致同轴并与所述滑动部件 或所述固定部件的所述手柄连接；以及马达，使所述手柄转动。

按照该构成，能将电动化单元装拆自如地安装于手动载物台，通过 装拆电动化单元能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。由此，利 用者通过将新购买的电动化单元安装于已经购买的手动载物台上能够设 定成电动载物台。另外，通过卸除被安装上的电动化单元能够复原回手 动载物台，从而能够提高使用便利性。另外，利用者能够灵活利用手动 操作的优点及电动操作的优点而分别使用。

另外，在手动载物台中，优选的是，被安装上的所述电动化单元主 体具备微调旋钮，所述微调旋钮保持与所述滑动部件或所述固定部件的 手柄轴大致同轴并用手动使所述手柄转动。由此，除了所述手动操作及 自动操作以外，通过停止自动操作，能够利用微调旋钮用手动微调手柄。

为了达成所述目的，本发明还提供一种手动载物台用电动化单元， 其安装于进给丝杠式手动载物台，所述进给丝杠式手动载物台通过驱动 机构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使 手柄绕轴转动的转动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设 备的位置，所述手动载物台用电动化单元具备：手柄抓持部，抓持所述 手柄的旋钮部；手柄驱动用连接部，保持与手柄轴大致同轴并进行连接； 马达，使所述手柄驱动用连接部转动；转动防止用夹具，防止所述马达 共同转动；以及马达连接部，与所述马达连接，安装所述转动防止用夹 具，通过装拆所述手动载物台用电动化单元来选择手动操作或自动操作 中的任意一方。

按照该构成，电动化单元能装拆自如地安装于手动载物台。此外， 通过装拆电动化单元能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。由此， 利用者通过将新购买的电动化单元安装于已经购买的手动载物台上能够 设定成自动操作模式(或电动操作模式)。另外，通过卸除被安装上的 电动化单元就能复原回手动操作模式，从而能够提高载物台的使用便利 性。如此，利用者能够灵活利用手动操作的优点及自动操作或电动操作 的各自优点而分别使用。

所述电动化单元由转动防止用夹具、手柄驱动用连接部、手柄抓持 部、马达及马达连接部构成。通过所述马达连接部连接马达与转动防止 用夹具。此外，通过将转动防止用夹具与手动载物台连接，能够防止马 达的共同转动。另外，通过手柄驱动用连接部，使手柄轴与马达轴保持 大致同轴并联动。此外，通过手柄抓持部能够可靠地抓持尺寸精度存在 偏差的手柄的旋钮部。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述转动防 止用夹具是连接杆，所述连接杆嵌入多个固定用孔，所述多个固定用孔 设置在所述进给丝杠式手动载物台的所述固定部件端部的块体上。由此， 利用进给丝杠式手动载物台普遍设置的固定用孔并插入至少二根连接 杆，由此能够容易地防止马达的共同转动。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，通过用手动 对所述手柄抓持部进行转动操作来使被所述手柄抓持部抓持的所述手柄 的所述旋钮部转动，由此微调所述精密设备的位置。由此，利用者通过 停止使用马达并转动手柄抓持部，能够用手动微调手柄。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述手柄驱 动用连接部与所述手柄抓持部组合成一体，使所述手柄轴与所述马达轴 联动。由此，通过转动手柄抓持部就能够可靠地让马达的转动带动手柄 的转动。

为了达成所述目的，本发明还提供一种手动载物台，其是进给丝杠 式手动载物台，所述进给丝杠式手动载物台通过驱动机构连接安装精密 设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转 动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备的位置，所述手 动载物台通过安装电动化单元能够选择自动操作，所述电动化单元具备： 手柄抓持部，抓持所述手柄的旋钮部；手柄驱动用连接部，保持与手柄 轴大致同轴并进行连接；马达，使所述手柄驱动用连接部转动；转动防 止用夹具，防止所述马达共同转动；以及马达连接部，与所述马达连接， 安装所述转动防止用夹具。

按照该构成，电动化单元能装拆自如地安装于手动载物台，通过装 拆电动化单元能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。由此，利用 者通过将新购买的电动化单元安装于已经购买的手动载物台上就能够设 定成电动载物台。另外，通过卸除被安装上的电动化单元就能复原回手 动载物台，从而能够提高使用便利性。另外，利用者能够灵活利用手动 操作的优点及电动操作的优点而分别使用。

另外，在所述手动载物台中，优选的是，通过用手动对被安装上的 所述电动化单元的所述手柄抓持部进行转动操作来使被所述手柄抓持部 抓持的所述手柄的所述旋钮部转动，由此微调所述精密设备的位置。由 此，利用者通过停止使用马达并转动手柄抓持部，能够用手动微调手柄。

为了达成所述目的，本发明还提供一种手动载物台用电动化单元， 其安装于进给丝杠式手动载物台，所述进给丝杠式手动载物台通过驱动 机构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使 手柄绕轴转动的转动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设 备的位置，所述手动载物台用电动化单元具备：手柄驱动用连接部，保 持与手柄轴大致同轴并进行连接；马达，使所述手柄驱动用连接部转动； 转动防止部，防止所述马达共同转动；以及马达连接部，与所述马达连 接，通过装拆所述手动载物台用电动化单元来选择手动操作或自动操作 中的任意一方。

按照该构成，电动化单元能装拆自如地安装于手动载物台。此外， 通过装拆电动化单元能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。由此， 利用者通过将新购买的电动化单元安装于已经购买的手动载物台上就能 够设定自动操作模式(或电动操作模式)。另外，通过卸除被安装上的 电动化单元就能够复原回手动操作模式，能够提高载物台的使用便利性。 如此，利用者能够灵活利用手动操作的优点及自动操作或电动操作的各 自优点而分别使用。

该电动化单元由转动防止用夹具、手柄驱动用连接部、马达及马达 连接部构成。通过所述马达连接部连接马达与转动防止用夹具。此外， 通过将转动防止用夹具与手动载物台连接，能够防止马达共同转动。另 外，通过手柄驱动用连接部，能够使手柄轴与马达轴保持大致同轴并联 动。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述转动防 止部通过紧固件固定于多个固定用孔，所述多个固定用孔设置在所述手 动载物台的所述固定部件的端部上。由此，利用进给丝杠式手动载物台 普遍设置的固定用孔并利用紧固件进行固定，由此能够容易地防止马达 的共同转动。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，通过用手动 对所述手柄驱动用连接部进行转动操作来使所述手动载物台的所述手柄 轴转动，由此微调所述精密设备的位置。由此，利用者通过停止使用马 达并转动手柄驱动用连接部，能够用手动微调手柄。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述手柄驱 动用连接部与从所述手柄去掉了旋钮部的所述手柄轴连接。由此，通过 简单的机构就能够使手柄转动。另外，能够转动尺寸精度较好的手柄轴 而非尺寸精度较差的手柄的旋钮部。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述手柄驱 动用连接部通过连接轴与所述手柄轴连接，所述连接轴与所述手柄轴连 接。由此，能够根据手动载物台的手柄轴的尺寸选择连接轴。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述转动防 止部与所述马达连接部和手柄轴支承台形成为一体，并夹入所述手柄驱 动用连接部。即，转动防止部与马达连接部被固定。另外，通过手柄轴 支承台可靠地保持手柄轴。由此，能够在马达连接部及转动防止部与马 达可靠地连接的基础上防止马达的共同转动。

为了达成所述目的，本发明还提供一种手动载物台，其是进给丝杠 式手动载物台，所述进给丝杠式手动载物台通过驱动机构连接安装精密 设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转 动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备的位置，所述手 动载物台通过安装电动化单元能够选择自动操作，所述电动化单元具备： 手柄驱动用连接部，保持与手柄轴大致同轴并进行连接；马达，使所述 手柄驱动用连接部转动；转动防止部，防止所述马达共同转动；以及马 达连接部，与所述马达连接。

按照该构成，电动化单元能够装拆自如地安装于手动载物台，通过 装拆电动化单元能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。由此，利 用者通过将新购买的电动化单元安装于已经购买的手动载物台上能够设 定成电动载物台。另外，通过卸除被安装上的电动化单元就能够复原回 手动载物台，能够提高使用便利性。另外，利用者能够灵活利用手动操 作的优点及电动操作的优点而分别使用。

另外，在所述手动载物台中，优选的是，通过用手动对被安装上的 所述电动化单元的所述手柄驱动用连接部进行转动操作来使所述手柄轴 转动，由此微调所述精密设备的位置。由此，利用者通过停止使用马达 并转动手柄抓持部，能够用手动微调手柄。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述滑动部 件或所述固定部件两侧的所述夹持固定部，在夹入所述滑动部件或所述 固定部件侧分别具备弹性体，利用所述弹性体的弹力以从两侧塞入所述 滑动部件或所述固定部件的方式进行固定。由此，在通过两侧的夹持固 定部夹入滑动部件或固定部件时，通过弹性体这样的简单的机构从两侧 挤压滑动部件或固定部件，能够可靠地防止共同转动。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述滑动部 件或所述固定部件两侧的所述夹持固定部具备弹簧，所述弹簧连接所述 夹持固定部彼此，利用所述弹簧的弹力以从两侧塞入所述滑动部件或所 述固定部件的方式进行固定。由此，在通过两侧的夹持固定部夹入滑动 部件或固定部件时，通过弹簧这样的简单机构从两侧推压滑动部件或固 定部件，能够可靠地防止共同转动。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述电动化 单元主体具备微调旋钮，所述微调旋钮保持与所述滑动部件或所述固定 部件的所述手柄轴大致同轴并用手动使所述手柄转动。由此，除了所述 手动操作及自动操作以外，通过停止自动操作模式，能够利用手柄驱动 用连接部用手动微调手柄。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，从所述手柄 去掉了旋钮部的手柄轴与所述电动化单元主体连接。由此，通过简单的 机构就能够转动手柄。另外，能够抓持尺寸精度较好的手柄轴而非尺寸 精度较差的手柄的旋钮部。

另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述电动化 单元主体具备止动件，所述止动件防止所述夹持固定部脱落。由此，能 够避免夹持固定部打开幅度过大而脱落的情况，因此是优选的。

另外，在所述手动载物台中，优选的是，所述滑动部件或所述固定 部件两侧的所述夹持固定部，在夹入所述滑动部件或所述固定部件侧分 别具备弹性体，利用所述弹性体的弹力以从两侧塞入所述滑动部件或所 述固定部件的方式进行固定。如此，在通过两侧的夹持固定部夹入滑动 部件或固定部件时，通过弹性体这样的简单机构从两侧挤压滑动部件或 固定部件，能够可靠地防止共同转动。

另外，在所述手动载物台中，优选的是，所述滑动部件或所述固定 部件两侧的所述夹持固定部具备弹簧，所述弹簧连接所述夹持固定部彼 此，利用所述弹簧的弹力以从两侧塞入所述滑动部件或所述固定部件的 方式进行固定。如此，在通过两侧的夹持固定部夹入滑动部件或固定部 件时，通过弹簧这样的简单机构从两侧推压滑动部件或固定部件，能够 可靠地防止共同转动。

另外，在所述手动载物台中，优选的是，被安装上的所述电动化单 元主体具备微调旋钮，所述微调旋钮保持与所述滑动部件或所述固定部 件的手柄轴大致同轴并用手动使所述手柄转动。如此，除了所述手动操 作及自动操作以外，通过停止自动操作模式，能够通过手柄驱动用连接 部用手动微调手柄。

发明的效果

如以上所述的，按照本发明的手动载物台用电动化单元及附有电动 化单元的手动载物台，它们相对于通过手动转动手柄来使滑动部件移动 的以往的手动载物台，能够提供一种通过装拆简单的机构就能自由地选 择自动与手动并能通过手动进行微调的手动载物台用电动化单元及附有 电动化单元的手动载物台。

附图说明

图1是表示本发明的手动载物台用电动化单元的第一实施方式的概 略结构立体图，是表示附有电动化单元的手动载物台的第一实施方式的 概略结构分解立体图。

图2是图1的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载 物台的侧视图。

图3是本发明的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动 载物台的第二实施方式的概略结构立体图。

图4是图3的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载 物台的俯视图。

图5是从图3的A-A方向看到的侧视图和从B-B方向看到的侧视图。

图6是成为本发明对象的X轴载物台的俯视图及侧视图。

图7是成为本发明对象的X轴载物台(手柄加长型)的俯视图及侧 视图。

图8是成为本发明对象的XY轴载物台的俯视图及侧视图。

图9是成为本发明对象的Z轴载物台的俯视图及侧视图。

图10是成为本发明对象的X轴载物台的俯视图、仰视图及侧视图。

图11是成为本发明对象的Z轴载物台的俯视图、仰视图及侧视图。

图12是成为本发明对象的X轴载物台的俯视图、仰视图及侧视图。

图13是成为本发明对象的X轴载物台(燕尾槽进给丝杠型)的俯 视图、仰视图及侧视图。

图14是成为本发明对象的X轴载物台(燕尾槽细进给丝杠型)的 俯视图、仰视图及侧视图。

图15是成为本发明对象的X轴载物台(燕尾槽细进给丝杠型)的 俯视图、仰视图及侧视图。

图16是成为本发明对象的X轴载物台的俯视图、仰视图及侧视图。

图17是表示本发明的手动载物台用电动化单元的第三实施方式的 概略结构的立体图，是表示附有电动化单元的手动载物台的第三实施方 式的概略结构的分解立体图。

图18是图17的电动化单元的转动防止用夹具、马达连接部及马达 结构的立体图。

图19是表示进给丝杠式手动载物台与电动化单元的连接方法的立 体图。

图20是附有电动化单元的手动载物台的A-A剖视图(局部)。

图21是表示本发明的手动载物台用电动化单元的第四实施方式的 概略结构的立体图，是表示附有电动化单元的手动载物台的第四实施方 式的概略结构的局部分解立体图。

图22是表示图21所示的附有电动化单元的手动载物台的整体结构 的立体图。

图23是表示电动化单元结构的立体图。

图24是表示进给丝杠式手动载物台与电动化单元的连接方法的立 体图。

图25是图22所示的附有电动化单元的手动载物台的B-B剖视图。

图26是表示作为本发明的手动载物台用电动化单元及附有电动化 单元的手动载物台的第二实施方式的变形的、第一实施例的概略结构的 立体图。

图27是图26的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动 载物台的俯视图。

图28是表示作为本发明的手动载物台用电动化单元及附有电动化 单元的手动载物台的第二实施方式的变形的、第二实施例的概略结构的 立体图。

图29是图28的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动 载物台的俯视图。

图30是从手动载物台侧看图28的手动载物台用电动化单元及附有 电动化单元的手动载物台时的立体图。

附图标记

1，30，200，300，400，500   (手动载物台用)电动化单元

2，40，440   电动化单元主体

3，203，303   夹钳(转动防止用夹具，转动防止部)

4，43，443，543   布线束

5，205，305   滑动固定螺丝

6   滚花轮

7，207   联轴器用爪(手柄抓持部)

8   夹钳开闭用螺丝

208，308   马达连接部

9，209，309   联轴器(手柄驱动用连接部)

10，100，210，310，410，510   手动载物台

11，44，211，311，444，544   固定部件

12，31，212，312，431，531   滑动部件

13，213，313   手柄

14，32，214，314，432，532   精密设备安装孔

15，41，441，541   齿条

16   小齿轮

17，38，217，317，438，538   基台固定孔

18，45，218，318   手柄轴

19，119，219   (手柄)旋钮部

20，50，220，320，420，520   附有电动化单元的手动载物台

21，46   齿轮

22   正齿轮

23   转轮

24，424，524   夹持固定部

33   调整孔

34，34a，34b   贯穿螺栓(六角螺栓)

35，35a，35b   盖形螺母

36，36a，36b   夹板

37，437，537   微调旋钮

39   贯穿螺栓紧固螺丝

439，539   马达

42，442，542   安装螺栓

47，447，547   固定螺丝

248，348   齿轮马达

249   连接杆

251   块体

252，352   块体固定用孔

253，353   马达轴

254   连接杆固定用螺丝

255   马达连接部固定用螺丝

256   连接杆固定用孔

257   马达连接部固定用孔

258，358   马达安装用孔

259，359   手柄轴支承台

260，360   手柄轴贯穿孔

261   手柄固定用止动件

362   马达连接部固定用螺丝

363   马达连接部固定用孔

364   转动防止部固定用螺丝

365   转动防止部固定用孔

366   止动件用螺丝

367   止动件用孔

368   连接轴

450   弹性体

550   弹簧

551   弹簧承受件

552   夹持固定部防脱件

553   夹持固定部反作用力盘

具体实施方式

(手动载物台用电动化单元的第一实施方式的构成)

以下参照附图详细说明本发明的手动载物台用电动化单元1的第一 实施方式。图1是手动载物台用电动化单元1的第一实施方式的概略结 构的立体图。手动载物台用电动化单元1安装于手动载物台10，在手动 载物台10上发挥自动载物台的功能。另外，图2是图1的手动载物台用 电动化单元1的侧视图。

手动载物台10的滑动部件12与固定部件11例如通过齿条和小齿轮 式、进给丝杠式等驱动机构连接。图1虽表示齿条15及小齿轮16(参照 图2)啮合并滑动的齿条和小齿轮式手动载物台的情况，但是例如也可以 是进给丝杠式手动载物台等其他手动载物台。此外，在图1所示的手动 载物台10的情况下，手柄13及手柄的旋钮部19安装于滑动部件12。此 外，通过手柄13的转动，与滑动部件12连接的小齿轮16转动，并在安 装在固定部件上的齿条15上移动。此外，在将手柄13安装于固定部件 11上的情况下，通过手柄13的转动，与固定部件11连接的小齿轮16 转动，并在安装在滑动部件12上的齿条15上移动。手动载物台10的利 用者通过对手柄的旋钮部19以使其绕轴转动的方式进行转动操作，使滑 动部件12相对于固定部件11移动，由此进行精密设备的位置的调整。 另外，通过拧紧手动载物台10的图2所示的滑动固定螺丝5，能够将滑 动部件12固定于固定部件11上的任意位置。此外，通过旋松滑动固定 螺丝5，能够移动滑动部件12。另外，精密设备(未进行图示)通过紧 固件安装于精密设备安装孔14。此外，通过将紧固件拧入基台固定孔17， 将固定部件11固定于基台(未进行图示)。

本发明的手动载物台用电动化单元1安装于手动载物台10并使手动 载物台10的滑动部件12的移动电动化。如图1所示，所述电动化单元1 由作为转动防止用夹具的夹钳3、作为手柄驱动用连接部的联轴器9、作 为手柄抓持部的联轴器用爪7以及内置于电动化单元主体2中的马达(未 进行图示)构成。另外，在电动化单元主体2上安装有布线被集束而成 的布线束4。另外，手动载物台10按照其滑动机构，例如包括燕尾槽式 载物台、进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、 简易滚珠式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本发明的电动化单元1除 了燕尾槽式载物台、进给丝杠式载物台以外，也适用于在所述手动载物 台10中能够安装电动化单元1的手动载物台10。

夹钳3从两侧夹入手动载物台10的滑动部件12或固定部件11，产 生由马达转动产生的扭力的反作用力，防止电动化单元1的共同转动。 另外，联轴器9保持与手柄轴18大致同轴并与手柄13结合。此外，通 过马达(未进行图示)使所述联轴器9转动。另外，联轴器用爪7抓持 手柄13的旋钮部19以将联轴器9的转动传递至手柄13。该联轴器用爪 7上设置有“爪”状夹头装置，夹入并以装拆自如的方式抓持手柄13的 旋钮部19。

如图2所示，所述夹钳3成为前端部相互打开或闭合并以装拆自如 的方式夹入滑动部件12或固定部件11的开闭机构。该开闭机构通过利 用夹钳开闭用螺丝8使齿轮21以绕轴转动的方式转动，由此使连接的转 轮23转动并进行一方的夹钳3的前端部的开闭。另外，通过使与转轮23 啮合的正齿轮22与转轮23的转动联动地转动，进行另一方的夹钳3的 前端部的开闭。此外，通过安装于电动化单元主体2上的夹钳开闭用螺 丝8的转动方向及转动量，调整所述一对夹钳3的前端部的开闭方向及 开闭幅度。如此，通过一对夹钳3的前端部相互打开或闭合就能够简单 地夹入滑动部件12或固定部件11。另外，通过所述开闭机构也可以夹入 不同尺寸的滑动部件12或固定部件11。另外，通过所述开闭机构也能够 可靠地夹入尺寸精度存在偏差的滑动部件12或固定部件11。

联轴器9是与手柄13结合的机构，在圆形的外周具备作为旋钮部的 滚花轮6。如果在联轴器用爪7抓持住手柄13的旋钮部19的状态下，则 通过用手动对滚花轮6进行转动操作，由此能够使手柄13的旋钮部19 转动来微调精密设备的位置。

如此，本发明的手动载物台用电动化单元1相对于手动载物台10装 拆自如。此外，通过将电动化单元1安装于手动载物台10而切换成自动 操作模式(或电动操作模式)。另外，通过将电动化单元1从手动载物 台10去掉而切换成手动操作模式。即，通过本发明的手动载物台用电动 化单元1能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。此外，即便是将 电动化单元1安装于手动载物台10的自动操作模式(或电动操作模式)， 也能够通过用手动转动滚花轮6来微调精密设备的位置。由此，自动操 作模式(或电动操作模式)时也能够实现手动操作模式的优点。

(手动载物台用电动化单元的第二实施方式的构成)

以下参照附图详细说明本发明手动载物台用电动化单元30的第二 实施方式。图3是手动载物台用电动化单元30的第二实施方式的概略结 构的立体图。手动载物台用电动化单元30安装于手动载物台10上，在 手动载物台10上发挥自动载物台的功能。另外，图4是图3的手动载物 台用电动化单元30的俯视图。此外，图5是图4的手动载物台用电动化 单元30的侧视图。

手动载物台10例如通过齿条和小齿轮、进给丝杠等驱动机构连接滑 动部件31与固定部件44。图3表示齿条41及小齿轮(未进行图示)啮 合并滑动的齿条和小齿轮式手动载物台的情况。本发明的手动载物台用 电动化单元30安装于手动载物台10，使手动载物台10的滑动部件31 或固定部件44的移动电动化。此外，手动载物台10按照其滑动机构， 例如包括燕尾槽式载物台、进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交 叉滚子式载物台、简易滚珠式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本发明 的手动载物台10除了燕尾槽式载物台、进给丝杠式载物台以外，也适用 于在所述手动载物台10中能够安装电动化单元30的手动载物台10。

如图3及图4所示的，所述电动化单元30由以夹入滑动部件31或 固定部件44的方式进行固定的夹持固定部24、保持与手柄轴45大致同 轴并与滑动部件31或固定部件44的手柄连接的电动化单元主体40、以 及转动手柄的马达(未进行图示)构成。另外，在电动化单元主体40上 安装有布线被集束而成的布线束43。

夹持固定部24由位于滑动部件31或固定部件44前面且设置在滑动 部件31或固定部件44与电动化单元主体40之间的夹板36a、设置在滑 动部件31或固定部件44后面的夹板36b、连接夹板36a和夹板36b的 贯穿螺栓34a、34b、以及与贯穿螺栓34a、34b连接的盖形螺母35a、35b 构成，并且构成为框架。电动化单元主体40通过安装螺栓42与夹板36a 连接。通过拧紧所述框架的盖形螺母35和设置在电动化单元主体40上 的贯穿螺栓紧固螺丝39，将电动化单元主体40与滑动部件31或固定部 件44紧密连接。此外，通过利用了所述框架的简单的机构就能够可靠地 防止共同转动。另外，能够夹入大小不同的滑动部件或固定部件。

如图4所示，在电动化单元主体40上连接有将旋钮部从手柄去掉后 的手柄轴45。该手柄轴45和与设置在电动化单元主体40内的马达(未 进行图示)联动的齿轮46连接，通过电动进行转动。所述齿轮46通过 固定螺丝47固定在手柄轴45上。此外，电动化单元主体40具有微调旋 钮37，所述微调旋钮37保持与滑动部件31或固定部件44的手柄轴45 大致同轴并通过手动使手柄转动。如果通过手动转动所述微调旋钮37， 则滑动部件31或固定部件44的手柄轴45与所述微调旋钮37联动地转 动。

如上所述，电动化单元主体40通过齿轮46使手柄轴45转动。由此， 电动化单元主体40能够保持与手柄轴45大致同轴并与手柄结合。此外， 电动化单元主体40不是抓持尺寸精度具有偏差的手柄的旋钮部而是直接 抓持手柄轴45，由此能够将马达的转动可靠地传递至手动载物台10。

如上所述，本发明的手动载物台用电动化单元30相对于手动载物台 10装拆自如。此外，通过将电动化单元30安装于手动载物台10而切换 成自动操作模式(或电动操作模式)。另外，通过将电动化单元30从手 动载物台10去掉而切换成手动操作模式。即，通过本发明的手动载物台 用电动化单元30能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。此外，即 便是将电动化单元30安装于手动载物台10上的自动操作模式(或电动 操作模式)，也能够通过用手动转动微调旋钮37来微调精密设备的位置。 由此，自动操作模式时也能够实现手动操作模式的优点。

(附有电动化单元的手动载物台的第一实施方式的构成)

以下参照附图详细说明本发明的附有电动化单元的手动载物台20 的第一实施方式。图1是附有电动化单元的手动载物台20的第一实施方 式的分解立体图。附有电动化单元的手动载物台20是将手动载物台用电 动化单元1沿图1中的单点划线方向与手动载物台10结合得到的载物台。 另外，图2是图1的附有电动化单元的手动载物台20的侧视图。

此外，手动载物台10按照其滑动机构，例如包括燕尾槽式载物台、 进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、简易滚珠 式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本发明的手动载物台10除了燕尾槽 式载物台、进给丝杠式载物台以外，也适用于在所述手动载物台10中能 够安装电动化单元1的手动载物台10。

本附有电动化单元的手动载物台20是将电动化单元1安装在手动载 物台10上得到的设备。此外，电动化单元1是由作为转动防止用夹具的 夹钳3、作为手柄驱动用连接部的联轴器9、作为手柄抓持部的联轴器用 爪7、以及内置于电动化单元主体2中的马达(未进行图示)构成。

如图2所示，联轴器9在圆形的外周具有作为旋钮部的滚花轮6。 在联轴器用爪7抓持手柄13的旋钮部19的状态下，通过用手动对滚花 轮6进行转动操作，由此能够使手柄13的旋钮部19转动来微调精密设 备的位置。

如上所述，附有电动化单元的手动载物台20通过将电动化单元1安 装于手动载物台10上而成为自动操作模式。另外，通过将电动化单元1 从手动载物台10去掉而切换成手动操作模式。即，本发明的附有电动化 单元的手动载物台20能够选择手动操作或自动操作(或电动操作模式) 中的任意一方。此外，即使在将电动化单元1安装于手动载物台10上的 “自动操作”模式下，也能够通过用手动转动滚花轮6来微调精密设备 的位置。由此，自动操作(或电动操作模式)模式时也能够实现手动操 作模式的优点。

(附有电动化单元的手动载物台的第二实施方式的构成)

以下参照附图详细说明本发明的附有电动化单元的手动载物台50 的第二实施方式。图3是附有电动化单元的手动载物台50的第二实施方 式的立体图。附有电动化单元的手动载物台50是将手动载物台用电动化 单元30与手动载物台10结合得到的载物台。另外，图4是图3的附有 电动化单元的手动载物台50的俯视图。另外，图5是图3的附有电动化 单元的手动载物台50的侧视图。

电动化单元30由以夹入滑动部件31或固定部件44的方式进行固定 的夹持固定部24、保持与手柄轴大致同轴并与滑动部件31或固定部件 44的手柄连接的电动化单元主体40、以及转动手柄的马达(未进行图示) 构成。

此外，手动载物台10按照其滑动机构，例如包括如燕尾槽式载物台、 进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、简易滚珠 式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本发明的手动载物台10除了燕尾槽 式载物台、进给丝杠式载物台以外，也适用于在所述手动载物台10中能 够安装电动化单元30的手动载物台10。

被安装上的电动化单元主体40具有微调旋钮37，所述微调旋钮37 保持与滑动部件31或固定部件44的手柄轴大致同轴并通过手动使手柄 转动。

(电动化单元的控制方法)

所述电动化单元1、30的控制方法通过控制盘(未进行图示)进行， 不仅能通过简单的开/闭开关进行操作，而且能够通过控制杆进行多级 (无极)的速度指令的操作、通过数字键盘进行的指定移动量的操作， 也可以由利用者指定操作方法。

(手动载物台用电动化单元的第三实施方式的构成)

以下参照附图详细说明本发明的手动载物台用电动化单元200的第 三实施方式。图17是手动载物台用电动化单元200的第三实施方式的概 略结构的立体图。另外，图18是图17的手动载物台用电动化单元200 的转动防止用夹具203、马达连接部208及齿轮马达248的结构立体图。 另外，图19是表示手动载物台210与转动防止用夹具203的连接方法的 立体图。此外，图20是附有电动化单元的手动载物台220的局部剖视图。 手动载物台用电动化单元200安装于手动载物台210，在手动载物台210 上发挥自动载物台的功能。

手动载物台210通过由外螺纹与内螺纹构成的驱动机构连接滑动部 件212与固定部件211。此外，如图17所示，在手动载物台210中，手 柄213及手柄的旋钮部219安装于滑动部件212。手动载物台210的利用 者以使手柄的旋钮部219绕轴转动的方式对手柄的旋钮部219进行转动 操作。作为外螺纹的手柄轴218与手柄的旋钮部219的转动联动地转动， 使固定于滑动部件212的内螺纹移动。如此，使滑动部件212相对于固 定部件211移动，由此调整精密设备的位置。另外，手动载物台210通 过拧入图17所示的滑动固定螺丝205能够将滑动部件212固定于固定部 件211的任意位置上。此外，通过旋松滑动固定螺丝205能够使滑动部 件212滑动。另外，精密设备(未进行图示)通过紧固件安装于精密设 备安装孔214。此外，通过把紧固件拧入基台固定孔217，将固定部件211 固定于基台(未进行图示)。

本发明的手动载物台用电动化单元200安装于手动载物台210，使 手动载物台210的滑动部件212的移动电动化。如图17所示，所述电动 化单元200由防止马达共同转动的转动防止用夹具203、保持与手柄轴 218大致同轴并进行连接的手柄驱动用连接部209、抓持手柄213的旋钮 部219的手柄抓持部207、转动手柄驱动用连接部209的齿轮马达248、 以及与马达连接并安装有转动防止夹具203的马达连接部208构成。此 外，在本发明中，作为马达虽然使用齿轮马达248，但并不限定于该齿轮 马达248，也可以使用其他马达。

此外，手动载物台210按照其滑动机构，例如包括如燕尾槽式载物 台、进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、简易 滚珠式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本实施方式的电动化单元200 适用于进给丝杠式载物台。

如图17所示，转动防止用夹具203在本实施方式中是二根连接杆 249。如图18所示，通过插入设置在马达连接部208上的连接杆固定用 孔256的连接杆固定用螺丝254对所述的连接杆249进行固定。另外， 马达连接部208通过将马达连接部固定用螺丝255贯穿马达连接部固定 用孔257并紧固于马达安装用孔258上而固定在齿轮马达248上。此外， 如图19所示，连接杆249分别嵌入设置于手动载物台210的固定部件211 端部的块体251上的固定用孔252。由此，固定于马达连接部208的齿轮 马达248通过二根连接杆249固定于手动载物台210。如此，电动化单元 200通过所述的结构固定于手动载物台210，能够防止共同转动而不受马 达轴253的转动的影响。

手柄驱动用连接部209使手柄轴218与马达轴253联动。如图20的 剖视图所示，手柄驱动用连接部209的一端与从齿轮马达248突出的马 达轴253连接，另一端的突出部与手柄213的手柄轴218连接。此外， 手柄驱动用连接部209由于以同轴的方式连接手柄轴218与马达轴253， 所以能够使手柄213的手柄轴218与齿轮马达248的马达轴253的转动 联动。

手柄抓持部207与手柄驱动用连接部209组合成一体。此外，通过 手柄抓持部207使被抓持的手柄213的旋钮部219转动。因此，手柄抓 持部207使用例如弹性体等被称为橡胶的摩擦系数较高的材料，但是并 不限于此，也可以使用铝等金属等材料。此外，通过用手动对所述手柄 抓持部207进行转动操作，能够进行精密设备的位置的微调。

如此，本发明的手动载物台用电动化单元200相对于手动载物台210 装拆自如。此外，通过将电动化单元200安装于手动载物台210而切换 成自动操作模式(或电动操作模式)。另外，通过将电动化单元200从 手动载物台210去掉而切换成手动操作模式。即，通过本发明的手动载 物台用电动化单元200能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。此 外，即使是将电动化单元200安装于手动载物台210的自动操作模式(或 电动操作模式)，也能够通过用手动转动手柄抓持部207来微调精密设 备的位置。由此，在自动操作模式(或电动操作模式)时也能够实现手 动操作模式的优点。

(手动载物台用电动化单元的第四实施方式的构成)

以下参照附图详细说明本发明的手动载物台用电动化单元300的第 四实施方式。图21是本发明的手动载物台用电动化单元300的第四实施 方式概略结构的立体图且是附有电动化单元的手动载物台320的第四实 施方式构略结构的局部分解立体图。另外，图22是图21所示的附有电 动化单元的手动载物台320的整体结构立体图。另外，图23是表示电动 化单元300的结构的立体图。另外，图24是表示进给丝杠式手动载物台 310与电动化单元300的连接方法的立体图。此外，图25是图22所示的 附有电动化单元的手动载物台320的B-B剖视图。手动载物台用电动化 单元300安装于手动载物台310，在手动载物台310上发挥自动载物台的 功能。

手动载物台310通过由外螺纹与内螺纹构成的驱动机构连接滑动部 件312与固定部件311。此外，在图21所示的手动载物台310中，将安 装于滑动部件312的手柄(请参照图17)及手柄的旋钮部(参照图17) 卸除并安装手动载物台用电动化单元300。手动载物台310的利用者以使 手柄的旋钮部219绕轴转动的方式对手柄的旋钮部219进行转动操作。 作为外螺纹的手柄轴318与所述手柄的旋钮部219的转动联动地转动， 使固定于滑动部件312的内螺纹移动。如此，使滑动部件312相对于固 定部件311移动，由此调整精密设备的位置。另外，手动载物台310通 过拧入图21所示的滑动固定螺丝305能够将滑动部件312固定于固定部 件311的任意位置。此外，通过旋松滑动固定螺丝305能够使滑动部件 312移动。另外，精密设备(未进行图示)通过紧固件安装于精密设备安 装孔314。此外，通过将紧固件拧入基台固定孔317来将固定部件311 固定于基台(未进行图示)。

本发明的手动载物台用电动化单元300安装于手动载物台310，使 手动载物台310的滑动部件312的移动电动化。如图21所示，所述电动 化单元300由保持与手柄轴318大致同轴并进行连接的手柄驱动用连接 部309、使手柄驱动用连接部309转动的齿轮马达348、防止齿轮马达348 的共同转动的转动防止部303、以及与齿轮马达348连接的马达连接部 308构成。此外，手动载物台310按照其滑动机构，例如包括燕尾槽式载 物台、进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、简 易滚珠式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本实施方式的电动化单元300 适用于进给丝杠式载物台。

手柄驱动用连接部309使手柄轴318与马达轴353联动。如图25的 剖视图所示，手柄驱动用连接部309的一端与从齿轮马达348突出的马 达轴353连接，另一端与手柄的手柄轴318连接。此外，手柄驱动用连 接部309由于以同轴的方式连接手柄轴318与马达轴353，所以能够使手 柄313的手柄轴318与齿轮马达348的马达轴353的转动联动。

如图23所示，转动防止部303与马达连接部308及手柄轴支承台 359一体成形，呈L形。此外，可以将手柄驱动用连接部309稳定地夹 入所述L形中。由此，成为紧凑的手动载物台用电动化单元300。另外， 如图24所示，转动防止部303通过转动防止部固定用螺丝364固定于设 置在手动载物台310的固定部件311端部的两个部位的块体固定用孔 352。所述转动防止部固定用螺丝364在手动载物台310的固定部件311 端部的两个部位，转动受到限制。另外，如图23所示，马达连接部308 通过马达连接部固定用螺丝362贯穿马达连接部固定用孔363而固定于 马达安装用孔358。所述马达连接部固定用螺丝362的其中三个贯穿设置 于马达连接部308的马达安装用孔358，下部的一个贯穿转动防止部303 及马达连接部308。如此，转动防止部303通过固定于手动载物台310 及马达348的结构能够防止马达348的共同转动。

手柄驱动用连接部309与从手柄去掉了旋钮部的手柄轴318连接。 此外，手柄驱动用连接部309通过与手柄轴318连接的连接轴368与手 柄轴318连接。即，由于手动载物台310机种的不同，手柄轴318存在 尺寸不同的情况。在该情况下，能够使用适合该手动载物台310机种的 手柄轴318的连接轴368与手柄驱动用连接部309连接。如此，只要预 先准备必要的连接轴318就能够应对机种不同的手动载物台310。另外， 通过用手动对手柄驱动用连接部309进行转动操作，能够使手动载物台 的手柄轴318转动，由此能够微调精密设备的位置。

如此，本发明的手动载物台用电动化单元300相对于手动载物台310 装拆自如。此外，通过将电动化单元300安装于手动载物台310而切换 成自动操作模式(或电动操作模式)。另外，通过将电动化单元300从 手动载物台310去掉而切换成手动操作模式。即，通过本发明的手动载 物台用电动化单元300能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。此 外，即使是将电动化单元300安装于手动载物台310的自动操作模式(或 电动操作模式)，也能够通过用手动转动手柄驱动用连接部309来微调 精密设备的位置。由此，在自动操作模式(或电动操作模式)时也能够 实现手动操作模式的优点。

(附有电动化单元的手动载物台的第三实施方式的构成)

以下参照附图详细说明本发明的附有电动化单元的手动载物台220 的第三实施方式。图17是附有电动化单元的手动载物台220的第三实施 方式的分解立体图。附有电动化单元的手动载物台220是将手动载物台 用电动化单元200与手动载物台210结合得到的载物台。另外，图20是 图17的附有电动化单元的手动载物台220的剖视图。

此外，手动载物台210按照其滑动机构，例如包括燕尾槽式载物台、 进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、简易滚珠 式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本发明的手动载物台210适用于进 给丝杠式载物台。

本附有电动化单元的手动载物台220是将电动化单元200安装在手 动载物台210上得到的设备。此外，电动化单元200由防止马达共同转 动的转动防止用夹具203、保持与手柄轴218大致同轴并进行连接的手柄 驱动用连接部209、抓持手柄213的旋钮部219的手柄抓持部207、使手 柄驱动用连接部209转动的齿轮马达248、以及与马达连接并安装有转动 防止用夹具203的马达连接部208构成。

另外，通过用手动对被安装上的电动化单元200的手柄抓持部207 进行转动操作来使被手柄抓持部207抓持的手柄213的旋钮部219转动， 由此能够微调精密设备的位置。

如此，附有电动化单元的手动载物台220通过将电动化单元200安 装于手动载物台210上而成为自动操作模式。另外，通过将电动化单元 200从手动载物台210去掉而切换成手动操作模式。即，本发明的附有电 动化单元的手动载物台220能够选择手动操作或自动操作(或电动操作 模式)中的任意一方。此外，即使在将电动化单元200安装于手动载物 台210的“自动操作”模式下，也能够通过用手动对手柄驱动用连接部 209进行转动操作来微调精密设备的位置。由此，在自动操作(或电动操 作模式)模式时，也能够实现手动操作模式的优点。

(附有电动化单元的手动载物台的第四实施方式的构成)

以下参照附图详细说明本发明的附有电动化单元的手动载物台320 的第四实施方式。图22是附有电动化单元的手动载物台320的第四实施 方式的立体图。附有电动化单元的手动载物台320是将手动载物台用电 动化单元300与手动载物台310结合得到的载物台。另外，图25是附有 电动化单元的手动载物台320的剖视图。

此外，手动载物台210按照其滑动机构，例如包括燕尾槽式载物台、 进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、简易滚珠 式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本发明的手动载物台310适用于进 给丝杠式载物台。

本附有电动化单元的手动载物台320是将电动化单元300安装于手 动载物台310得到的设备。此外，电动化单元300由保持与手柄轴318 大致同轴并进行连接的手柄驱动用连接部309、使手柄驱动用连接部309 转动的齿轮马达348、通过夹入手柄驱动用连接部309来防止共同转动的 转动防止部303、以及与马达348连接的马达连接部308构成。另外，如 图21所示，手柄驱动用连接部309为了适合手柄轴318的尺寸，也可以 具备连接轴368。此外，图22表示无需具备所述连接轴368的情况。

另外，通过用手动对被安装上的电动化单元300的手柄驱动用连接 部309进行转动操作，由此能够使手柄轴318转动，从而能够对精密设 备的位置进行微调。

如此，附有电动化单元的手动载物台320通过将电动化单元300安 装于手动载物台310而成为自动操作模式。另外，通过将电动化单元300 从手动载物台310去掉而切换成手动操作模式。即，本发明的附有电动 化单元的手动载物台320能够选择手动操作或自动操作(或电动操作模 式)中的任意一方。此外，即使是将电动化单元300安装于手动载物台 310的“自动操作”模式，也可以通过用手动使手柄驱动用连接部309 转动来微调精密设备的位置。由此，在自动操作(或电动操作模式)模 式时也能够实现手动操作模式的优点。

(附有电动化单元的手动载物台的第二实施方式的第一实施例的构成)

以下参照附图详细说明本发明的手动载物台用电动化单元400的第 二实施方式的第一实施例。该第一实施例是图3及图4所示的第二实施 方式的变形。图26是表示手动载物台用电动化单元400的第一实施例概 略结构的立体图。手动载物台用电动化单元400安装于手动载物台410， 在手动载物台410上发挥自动载物台的功能。另外，图27是图26的手 动载物台用电动化单元400的俯视图。在以下的第一实施例的记载中， 省略与图3及图4所示的第二实施方式相同的记载，仅说明其与第二实 施方式的差异。因此，引用与图3及图4所示的第二实施方式有关的记 载中的、在以下的与第一实施例有关的记载中没有的事项。

如图26及图27所示，所述电动化单元400的以夹入滑动部件431 或固定部件444的方式进行固定的夹持固定部424的结构与图3及图4 所示的第二实施方式不同。

如图27所示，夹持固定部424以夹入滑动部件431或固定部件444 的两侧的方式设置。此外，所述夹持固定部424在夹入滑动部件431或 固定部件444侧分别具备弹性体450。由此，利用弹性体450的弹力以从 两侧塞入滑动部件431或固定部件444的方式进行固定。即，在将手动 载物台用电动化单元400安装在手动载物台410上时，电动化单元400 的左右的夹持固定部424稍微打开并夹入滑动部件431或固定部件444。 弹性体450从夹持固定部424的与滑动部件431或固定部件444接触的 面稍微突出。因此，弹性体450在夹持固定部424夹入滑动部件431或 固定部件444时被压缩。如果左右的夹持固定部424夹入滑动部件431 或固定部件444，则弹性体450被压缩而弹性变形并产生要复原的弹力。 此外，利用弹性体450的所述弹力以从两侧塞入滑动部件431或固定部 件444的方式进行固定。如此，通过利用了弹性体450的简单的机构就 能够可靠地防止共同转动。

(附有电动化单元的手动载物台的第二实施方式的第二实施例的构成)

以下参照附图详细说明本发明的手动载物台用电动化单元的第二实 施方式的第二实施例。该第二实施例是图3及图4所示的第二实施方式 的变形。图28是表示手动载物台用电动化单元500的第二实施例概略结 构的立体图。手动载物台用电动化单元500安装于手动载物台510，在手 动载物台510上发挥自动载物台的功能。另外，图29是图28的手动载 物台用电动化单元500的俯视图。此外，图30是从手动载物台510侧看 图28的手动载物台用电动化单元500时的立体图。在以下第二实施例的 记载中，省略与图3及图4所示的第二实施方式相同的记载，仅说明与 第二实施方式的差异。因此，引用了与图3及图4所示的第二实施方式 有关的记载中的、在以下的与第二实施例有关的记载中没有的事项。

如图28及图29所示，所述电动化单元500的夹入固定滑动部件531 或固定部件544的夹持固定部524的结构与图3及图4所示的第二实施 方式不同。

如图29所示，夹持固定部524以夹入滑动部件531或固定部件544 的两侧的方式设置。此外，如图30所示，滑动部件531或固定部件544 的两侧的夹持固定部524具备弹簧550，所述弹簧550被夹持固定部反作 用力盘553支承并连接夹持固定部524彼此。如此，利用弹簧550的弹 力以从两侧塞入滑动部件531或固定部件544的方式进行固定，由夹持 固定部反作用力盘553承受弹簧550弹力的反作用力。即，当把手动载 物台用电动化单元500安装在手动载物台510上时，电动化单元500的 左右的夹持固定部524稍微打开并夹入滑动部件531或固定部件544。如 此，通过电动化单元500的左右的夹持固定部524稍微打开，使弹簧550 弹性变形从而产生要复原的张力。此外，利用弹簧550的所述张力以从 两侧塞入固定滑动部件531或固定部件544的方式进行固定。此外，通 过固定部防脱件552防止夹持固定部524脱落。如此，通过使用了弹簧 550的简单的机构就能够可靠地防止共同转动，手动载物台510通过马达 539以电动的方式动作。

(手动载物台的第二实施方式的第一实施例的构成)

以下参照附图详细说明本发明的附有电动化单元的手动载物台420 的第一实施例。图26是表示附有电动化单元的手动载物台420的第一实 施例的立体图。附有电动化单元的手动载物台420是将手动载物台用电 动化单元400与手动载物台410结合的得到的载物台。另外，图27是图 26的附有电动化单元的手动载物台420的俯视图。在以下第一实施例的 记载中，省略与图3及图4所示的第二实施方式相同的记载，仅说明与 第二实施方式的差异。因此，引用与图3及图4所示的第二实施方式有 关的记载中的、在以下的与第一实施例有关的记载中没有的事项。

如图26及图27所示，所述附有电动化单元的手动载物台420的以 夹入滑动部件431或固定部件444的方式进行固定的夹持固定部424的 结构与图3及图4所示的第二实施方式不同。

如图27所示，夹持固定部424以夹入滑动部件431或固定部件444 的两侧的方式设置。此外，所述夹持固定部424在夹入滑动部件431或 固定部件444侧分别具备弹性体450。如此，利用弹性体450的弹力以从 两侧塞入滑动部件431或固定部件444的方式进行固定。即，在将手动 载物台用电动化单元400安装到手动载物台410上时，电动化单元400 的左右的夹持固定部424稍微打开并夹入滑动部件431或固定部件444。 弹性体450从夹持固定部424的与滑动部件431或固定部件444的面稍 微突出，使得在夹持固定部424夹入滑动部件431或固定部件444时被 压缩。因此，如果左右的夹持固定部424夹入滑动部件431或固定部件 444，则弹性体450被压缩并弹性变形，从而产生要复原的弹力。此外， 利用弹性体450的所述弹力以从两侧塞入滑动部件431或固定部件444 的方式进行固定。如此，通过利用了弹性体450的简单的机构就能够可 靠地防止共同转动。

(手动载物台的第二实施方式的第二实施例的构成)

以下参照附图详细说明本发明的附有电动化单元的手动载物台520 的第二实施例。图28是表示附有电动化单元的手动载物台520的第二实 施例的立体图。附有电动化单元的手动载物台420是将手动载物台用电 动化单元500与手动载物台510结合得到的载物台。另外，图29是图27 的附有电动化单元的手动载物台520的俯视图。在以下第二实施例的记 载中，省略与图3及图4所示的第二实施方式相同的记载，仅说明与第 二实施方式的差异。因此，引用与图3及图4所示的第二实施方式有关 的记载中的、在以下的与第二实施例有关的记载中没有的事项。

如图28及图29所示，所述附有电动化单元的手动载物台520的以 夹入滑动部件531或固定部件644的方式进行固定的夹持固定部524的 结构与图3及图4所示的第二实施方式不同。

如图29所示，夹持固定部524以夹入滑动部件531或固定部件544 的两侧的方式设置。此外，如图30所示，滑动部件531或固定部件544 两侧的夹持固定部524具备弹簧550，所述弹簧550被夹持固定部反作用 力盘553支承，并且连接夹持固定部524彼此。如此，利用弹簧550的 弹力以从两侧塞入固定滑动部件531或固定部件544的方式进行固定， 由夹持固定部反作用力盘553承受弹簧550弹力的反作用力。即，在将 手动载物台用电动化单元500安装到手动载物台510上时，电动化单元 500的左右的夹持固定部524稍微打开并夹入滑动部件531或固定部件 544。如此，通过稍微打开电动化单元500的左右的夹持固定部524，使 弹簧550弹性变形并产生要复原的张力。此外，利用弹簧550的所述张 力以从两侧塞入固定滑动部件531或固定部件544的方式进行固定。此 外，通过固定部防脱件552防止夹持固定部524脱落。如此，通过使用 了弹簧550的简单的机构就能够可靠地防止共同转动，手动载物台510 通过马达539以电动的方式动作。