法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-30
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B26/08 申请公布日:20150429 申请日:20150131
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-05-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/08 申请日:20150131
实质审查的生效
2015-04-29
公开
公开
机译: 用于实现动态学习面罩校正的系统,方法和装置,以提高光刻技术的分辨率和光学接近度校正(OPC)
机译: 一种提高全场光学相干层析成像系统图像分辨率的方法
机译: 一种提高全场光学相干层析成像系统图像分辨率的方法