首页> 中国专利> Cu-Ga合金粉末的制造方法和Cu-Ga合金粉末、以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法和Cu-Ga合金溅射靶

Cu-Ga合金粉末的制造方法和Cu-Ga合金粉末、以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法和Cu-Ga合金溅射靶

摘要

本发明提供能够容易地制造高品质Cu-Ga合金粉末的Cu-Ga合金粉末的制造方法和Cu-Ga合金粉末、以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法和Cu-Ga合金溅射靶。本发明将以85:15~55:45的质量比配合Cu粉末和Ga而成的混合粉末,在非活性气体环境中以30~700℃的温度加以搅拌而进行合金化,从而获得Cu-Ga合金粉末。另外,通过对该Cu-Ga合金粉末加以成型并进行烧结,获得Cu-Ga合金溅射靶。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-06-01

    授权

    授权

  • 2013-03-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):B22F1/00 申请日:20110407

    实质审查的生效

  • 2012-12-26

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号