一种基于垂直磁化自由层的磁性多层膜及磁性传感器

摘要

本发明公开了一种基于垂直磁化自由层的磁性多层膜及磁性传感器。该磁性多层膜包括：具有面内平衡磁化状态的第一磁性层;形成于第一磁性层之上的非磁性隔离层;以及，形成于非磁性隔离层之上的具有垂直磁化的自由层。该磁性传感器包含有该磁性多层膜。藉由前述结构，本发明磁性多层膜中两个磁性层的磁化方向呈90°，在制成磁传感器时具有尺寸小、分辨率高以及结构简单等特点。