首页> 中国专利> 用于矫正诱导散光以及矫正与白内障治疗相关的散光的激光系统及方法

用于矫正诱导散光以及矫正与白内障治疗相关的散光的激光系统及方法

摘要

本发明提供了一种系统、设备和方法,用于开发可创建精确的、预定的、透明的角膜切口的激光系统,其能减少散光如诱导散光。该系统、设备和方法进一步提供了激光系统,其可在前弹性层上或前弹性层之下提供这些切口。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-12-10

    授权

    授权

  • 2012-09-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):A61F9/01 申请日:20100708

    实质审查的生效

  • 2012-08-01

    公开

    公开

说明书

根据35 USC 119号(e),申请人要求申请日为2009 年7月24日提交的美国临时专利申请61/228,533和美国临时专利 申请61/228,514的优先权,其在前述日期提交,其中的全部内容在 此以参考的方式并入。

技术领域

本发明涉及用于改进治疗白内障、晶状体混浊、透明 晶状体摘除、去除天然晶状体材料、晶状体替代材料的使用及上述几 项的方法和系统。具体而言,本发明涉及如下系统和方法:提供预先 确定的、精确的、可重复的激光照射模式(激光照射图案),以预先 确定的和精确的形状在眼睛的角膜中创建切口,而且其治疗眼睛畸变 的过程,从病人到病人和从医生到医生是可重复的。

现有技术

现有技术对白内障的治疗是,去除混浊的人类晶状体 与更换人工晶状体(“IOL”)。在一般情况下,人工晶状体包括 带有塑料侧柱(称为触脚)的小塑料镜片,塑料侧柱用于将该塑料镜 片保持在眼内囊袋的合适位置。典型的人工晶状体类型包括单焦镜 片、为患者提供远距离与阅读距离多视觉的多焦人工晶状体、为患者 提供视觉调节的自调节人工晶状体。许多人工晶状体具有弹性,这使 它们能够滚动和/或折叠插入晶状体囊。目前发现的人工晶状体的例 子有美国专利7,188,949、6,849,091、5,699,142和5,607,472,上 述每项专利的所有公开内容在此均以参考的方式并入。市售的人工晶 状体中可能会受益于本发明的有,例如CRYSTALENS和ACRYSOF  RESTOR。

CRYSTALENS的晶状体由Eyeonic开发,目前由 Bausch & Lomb提供,相信其至少部分公开于美国专利6,849,091。 关于其结构和功效的进一步的信息,是由食品和药物管理局(FDA) 的PMA文件P030002及该PMA文件的相关文件提供。美国食品和 药物管理局对于CRYSTALENS批准的使用指导在以下部分: “crystalensTM型号AT-45可调节人工晶状体用于已切除白内障晶状 体成年患者的无晶状体视力矫正的眼睛晶状体囊袋(原文为bar,感觉 应为bag)内的一期植入,以及提供无眼镜的近、中、远视力。 crystalensTM人工晶状体提供接近的单眼调节屈光度。”(2003年11 月14日,PMA文件P030002的第2部分,安全性和有效性的数据 摘要,使用指导)。

因此,CRYSTALENS是FDA批准的可调节人工晶 状体的例子。术语“FDA批准的可调节人工晶状体”是指任何已获 得FDA批准的人工晶状体,其具有提供调节的使用指导,无论人工 晶状体实际上是否用于该被批准的使用。

ACRYSOf RESTOR人工晶状体由Alcon提供,相信 其至少部分公开于美国专利5669142,关于其结构和功效的进一步 的信息,是由食品和药物管理局(FDA)的PMA文件P040020及 该PMA文件的相关文件提供。美国食品和药物管理局对于RESTOR 批准的使用指导在以下部分:“人工晶状体指 定用于具有或不具有老花眼的成年患者的白内障晶状体切除的二期 无晶状体的视力矫正。其中成年患者需要独立增加眼镜的近、中、远 视力。该晶状体应置于晶状体囊袋中。”(2004年4月24日,PMA 文件P040020的第2部分,安全性和有效性的数据摘要,使用指 导)。

因此,RESTOR是FDA批准的近、中、远视力人工 晶状体的例子。术语“FDA批准的用于近、中、远视力的人工晶 状体”是指任何已获得FDA批准的人工晶状体,其具有提供近、中、 远视力的指定用途,无论人工晶状体实际上是否用于该被批准的使 用。CRYSTALENS也将是FDA批准的用于近、中、远视力的人工 晶状体的例子。此外,RESTOR和CRYSTALENS是被FDA批准的 减少和/或消除对眼镜依赖的人工晶状体的例子。

天然晶状体的切除和以晶状体替代材料的更换,通过 使用眼睛角膜缘区域的一个或多个小的初始切口,角膜缘区域是角膜 和巩膜之间的过渡区。该初始切口通常以推进到眼睛的角膜缘区域的 小三角形刀片切开。通过该初始切口,插入其它用于天然晶状体材料 切除和更换的工具,也通过该切口从眼睛切除天然晶状体材料,并插 入晶状体更换材料。

一旦已切开初始切口,混浊的天然晶状体的切除和晶 状体替代材料(如FDA批准的人工晶状体)的更换,目前使用撕囊和 /或囊切。撕囊通常包括去除晶状体前囊的一部分,以及至少部分由 于撕裂的动作所创建的洞或开口。囊切通常包括晶状体囊的切割,带 有或不带有晶状体囊的最小撕裂。因此,为了切除混浊的天然晶状体 材料,而打开晶状体囊。有几个已知技术用于执行撕囊和囊切。这些 技术包括被称为开罐式处理的技术、连续环形撕囊(CCC)、以及 Fugo等离子刀的使用。

发明概述

因此,有必要开发一种系统,其能对创建切口提供更 大的控制,并且使得这些改进与患者和医生无关,或至少减少从患者 到患者和从医生到医生的可变性。

新的改进的方法和系统可用于在角膜中前弹性层 (Bowman′s membrane)区域执行切口,其包括本发明的各个方面, 并在本专利的说明书有详细描述,而且其比其它方法和系统可更好地 将激光束传输至眼睛晶状体,如在US 2007/173794 A1、US 2007/173795 A1、US 2007/185475 A1、WO 2007/084694 A2、 WO 2007/084627 A2中所公开的方法和系统,这些申请所公开的全 部内容在此均以参考的方式并入。

除其它之外,本发明通过提供对创建角膜前弹性层区 域上的精确及预定的切口的更好控制,来矫正以人工晶状体材料更换 眼睛的天然晶状体之后可能存在的散光。因此,此处提供了可实用的 系统和方法。

此处提供了本发明的具体实施方式。此处提供了一种 用于对眼睛提供激光照射模式的系统,该系统包括:用于产生激光束 的医用激光器;用于执行囊切的激光照射模式;用于切片眼睛晶状体 的激光照射模式;用于提供眼睛角膜的前弹性层(sub-Bowman′s  membrane,鲍曼氏膜)弧形切割的激光照射模式。因此,激光系统 能够以不破坏眼睛的角膜前弹性层及减少散光例如诱导散光的方式 提供角膜前弹性层的弧形切割。这些弧形图案的方向沿着陡轴(steep  axis),具有大约为3毫米的半径,具有大约为60°的弧度,具有大约 为90°的弧度以及大约从60°到90°的弧度。进一步地,该系统具有的 弧形图案具有约小于90°并约大于或等于60°的弧度,该弧形图案具 有大约3毫米的半径以及大约90°至60°的弧度。

本发明提供了一种用于减少散光例如诱导散光的系 统,该散光与以晶状体替代材料更换人类天然晶状体相关,该系统包 括:用于提供激光束的激光器;与照射图案相关的控制器;照射图案 包括两个沿着陡轴朝向眼睛的弧形图案;该系统能够传送激光束,该 激光束在眼睛的角膜前弹性层下方生成照射图案,以治疗散光例如诱 导散光。

本发明进一步提供了一种系统,其包括用于产生激光 束的医用激光器、用于在角膜上提供一对弧形切割的激光照射模式, 该图案具有约小于或等于角膜厚度的深度。该系统能够以不破坏眼睛 的上皮及减少散光例如诱导散光的方式提供弧形切割。

本发明进一步提供了上述系统的弧形图案,其中,该 弧形图案的方向沿着陡轴,该弧形图案具有大约为3毫米的半径,该 弧形图案具有大约为60°的弧度,该弧形图案具有大约为90°的弧度, 该弧形图案具有约小于90°并约大于或等于60°的弧度。

此外,本发明还提供了一种执行白内障手术并通过使 用激光系统减少诱导散光的方法,其包括:首先,关于激光系统定位 患者的眼睛;其次,引导激光系统以执行所定位眼睛的囊切;第三, 引导激光系统传输一对弧形激光照射模式至眼睛的角膜,从而减少散 光例如诱导散光,而不破坏眼睛的上皮。

本领域的普通技术人员将会认识到,基于这些说明和 附图所描述的教导,有多种这些教导的具体实施方式和实现方式来实 践本发明。因此,本发明内容的具体实施方式不应以任何方式限制这 些教导。

附图说明

图1是本发明一具体实施方式的弧形图案的示意图;

图2是本发明一具体实施方式中用于发送图1所示弧形 图案的系统的示意图。

具体实施方式

总体上,本发明涉及用于提供至眼睛的角膜的激光束 以解决、改进和矫正眼睛畸变的方法和系统。特别是,本发明涉及一 种方法和系统,用于解决在切除人类天然晶状体并用晶状体替代材料 更换之前或之后存在的眼睛畸变,特别是解决散光例如诱导散光。

本发明的方法和系统可以和新颖的和创新的激光系统 技术一起使用,其为共同专利申请的主题,并在此引用,并以参考的 方式并入;本发明的方法和系统也可能与其它用于切除晶状体材料至 该程度的激光传输系统一起使用,这种系统可能在未来得到发展。优 选地,本发明的方法和系统可以并入共同申请的系统,并与其配合使 用,该共同申请在此以参考的方式并入。这样,单一的系统,用单一 的治疗激光,可以执行必要的切除,以去除和更换自然的晶状体,并 矫正任何残留的畸变。

新颖的和开拓的用于切除晶状体材料的激光系统和方 法已公开于常规和临时美国专利申请61/228,506、61/228,529、 61/228,484、12/509,412和12/509,211,上述申请在同一天提出, 并且每项申请的全部内容在此以参考的方式并入。

因此,总体上讲,本发明提供了一种激光系统,即用 于传输激光至眼睛角膜的激光设备。总体上讲,该激光系统具有处理 或治疗的激光器,用于从医用激光器传输治疗激光束至眼睛的光学系 统;以及特定的图案,其提供角膜上的更换或治疗激光发射,创建组 织切除的弧形区域,即角膜表面下面和前弹性层区总体域的切除。

参考图1,其提供了本发明的弧形图案透明角膜切口 (CCI)和作为结果的弧形切割的实施例。因此,提供了第一弧形切 割图案1和第二弧形切割图案2。这些弧形切割图案具有3毫米的半 径,如箭头3所示,有90°的弧。切割图案1和切割图案2的朝向是沿 着陡轴4。在这个实施例中,该图案和作为结果的切割完全低于前弹 性层,并以这种方式,其不会通过切穿或破坏上皮细胞、以及切穿或 破坏前弹性层来形成。该图案和作为结果的切割的深度或厚度约为剩 余角膜厚度的90%。

该实施例的进一步体现和变化,包括小于90°而大于及 包括60°的图案。目前认为,90°弧的图案是-4到-6圆柱屈光度及散光 的适当治疗,60°弧的图案是-2至-3.5圆柱屈光度的适当治疗。切除 的深度可以从角膜厚度的约90%到角膜厚度的约60%,从大约518 微米到大约400微米。虽然它优选为在前弹性层之下切除,从而不破 坏该膜及其前方的结构,人们考虑该切除可能略高于,位于或稍低于 该膜或从该膜开始。CCI的半径范围可以为约2.6至3.2毫米,优选为 约3毫米。散光矫正的量取决于CCI的半径。

本发明中CCI的使用可以矫正散光,该散光早于任何白 内障治疗出现,其全部或部分由白内障治疗导致,其为白内障治疗之 后的残留,无论是否由该治疗导致。因此,如这里所使用的,散光畸 变大约由眼睛治疗导致,或者作为眼睛治疗的结果而发展,例如以晶 状体替代材料更换天然晶状体,散光畸变在这里涉及为诱导散光或诱 导散光畸变。

因此,通常优选的激光系统,即用于治疗患者的激光 设备,提供为图2所示的实施例。在该系统中,提供了激光治疗装置 101;用于传输激光束104的光学系统102;用于以特定图案传输激光 束的控制系统103,其中控制系统103与系统的其它部件相连和/或接 口,例如如图2中的虚线所示的例子,和/或图2中未显示的其它控制 系统。

总体上,用于提供弧形图案及在角膜上创建作为结果 的弧形切割的激光系统具有,例如并参考图2,提供激光束104的医 用激光器。该激光束应该具有与能量和激光束尺寸一起的短脉冲宽 度,以产生光致破裂。因此,如这里所使用,术语激光束或束是指传 输到某位置且导致光致破裂的激光束脉冲。如这里所使用,术语光致 破裂基本上是指激光产生的物质和气体之间的转换。术语光致破裂通 常也被称为激光诱导的光击穿(LIOB)。特别是,可采用约300纳米 至2500纳米的波长。可采用约1飞秒到100皮秒的脉冲宽度。可采用 从约1纳焦到1毫焦的能量。脉率(也称为脉冲重复频率PRF和每秒 脉冲,单位为赫兹)可能是从大约1KHz到几GHz。通常,商用激光 设备中,较低的脉率对应较高的脉冲能量。可使用各种激光类型来产 生眼组织的光致破裂,取决于脉冲宽度和能量密度。因此,这种激光 器的例子披露于WO 2007/084694 A2和WO 2007/084627 A2中,每 项的全部内容在此均以参考的方式并入。这些和其它类似的激光器可 以用于医用激光器。对于对角膜的手术,也可以使用这里描述的同样 类型的激光治疗器,选择其能量和焦点来执行所期望的手术。

总体上,用于传输激光束104至眼睛结构的光学系统 102应该能以x方向、y方向、z方向上的精确和预定的图案提供一系 列激光束至天然晶状体上。此处所用的z方向指的是,具有符合于或 者基本上平行于眼睛的A-P轴的轴的维度。光学系统还应提供预定的 激光束光斑尺寸,用来以到达将要切除的眼睛结构的激光能量引起光 致破裂。

总体上,用于传输激光束104的控制系统103可以是任 何计算机、控制器、和/或能够选择和控制x-y-z扫描参数和激光发射 的软件硬件结合。这些部件通常至少与接口x-y扫描仪、z聚焦设备和 /或激光器的电路板连接。该控制系统也可以、但并不一定具有进一 步控制系统内其它部件的能力,以及维护数据、获取数据和执行计算 的能力。因此,该控制系统可能包含引导激光通过一个或多个激光束 图案的程序。同样,该控制系统可能具备处理来自狭缝扫描激光器和 /或来自狭缝扫描激光系统的单独控制器的数据的能力。

用于传输激光束104的激光光学系统102包括光束扩展 望远镜105、z轴聚焦装置、光束合并器107、x-y扫描仪108、聚焦光 学系统109。其进一步提供中继光学系统110、摄像头111,其中包括 光学变焦以及第一ccd相机112。

眼睛114的光学图像,特别是眼睛114的天然晶状体 115的光学图像沿路径113传送。该路径113沿着与激光束104相同的 路径,从天然晶状体115,穿过激光患者接口116、聚焦光学系统109、 x-y扫描仪108和光束合并器107。进一步提供了激光患者接口116, 结构光源117和具有镜头的结构光相机118。对本系统有用的患者接 口和相关设备的例子由常规和临时美国专利申请12/509,021和 61/228,457提供,其中每项申请都是在同一天提出,其中每项申请的 全部内容在此均以参考的方式并入。

结构光源117可为具有聚焦和结构光投影光学系统的 狭缝照明,例如Schafter+Kirchhoff激光宏线发生器(Laser macro line generator)型号13LTM+90CM(类型 13LTM-250S-41+90CM-M60-780-5-Y03-C-6),或StockerYale  Model SNF-501L-660-20-5,其也被称为狭缝扫描激光器。该具体实 施方式中,结构光源117也包括狭缝扫描装置119。

当使用扫描狭缝照明器,该操作包括将狭缝定位于晶 状体一侧,采集一个图像,将狭缝移动约一个狭缝宽度,采集另一个 图像,然后移动狭缝,然后到另一个图像,然后重复此顺序至观察到 整个晶状体。例如,一个100微米的狭缝宽度可以90个图像扫描名义 上9毫米的较大瞳孔直径,使用30赫兹帧频摄像机大约需要3秒。为 了在单幅图像获得不重叠的前表面的图像,狭缝应该是与AP轴成一 角度,即其不应与该轴平行。名义狭缝角度可以与AP轴成角约15至 30度。在摄像机的灵敏度范围内,可使用任何可见光波长或近红外 线波长的光源。优选为低相干长度的光源,以降低斑点噪声。

结构光源117和结构光相机118以成角度的关系设置。 该成角度的关系可以但不必需为公知的所谓Scheimpflug配置。结构 光源117与狭缝扫描装置119一起,以一个角度或多个角度投射一条 或多条线至眼睛晶状体115上。散落在眼睛晶状体115上的光形成待 晶状体成像并聚焦于照相系统118的对象。由于在眼睛晶状体115上 的狭缝发射图像可能与相机118成大角度,这为相机提供了大景深, 并且整个狭缝图像可以不必在相机上锐聚焦。通过将相机倾斜一个角 度或多个角度,沿发光平面的图像可以更锐聚焦。至未获得更锐聚焦 的范围,这里进一步提供了算术数据评估装置,以确定照明结构关于 激光设备的更加精确的位置。

来自相机118的图像可能会转达给控制器103,用于系 统操作中的处理和进一步应用。它们也可以被发送到单独的处理器和 /或控制器,其转而与控制器103通讯。结构光源117、相机118和狭 缝扫描装置119包括用于确定晶状体关于激光系统的位置和顶点的 装置。

本发明提供了用于切除晶状体材料的激光束图案的发 送。这样,提供了用于产生剖切,即晶状体前囊的切口的方法和系统。 这些切割是由以精确的、预定的、以及高度重复性的图案发送至晶状 体前囊的治疗激光束104所创建的,其中该发送可以在图案(模式) 中产生此处所描述或教导的精确的、预定的、以及高度重复性的剖切 形状,或者产生使用插入晶状体囊的特定IOL或其它设备或其它材料 所需要的剖切形状。此处所使用的几何形状图案或切割可以是圆形和 椭圆形图案或切割。此处所使用的非几何形状或切割可以是所有其它 非圆形和椭圆形的形状。

在晶状体前囊进行这些切割的方法和系统,对于已知 的用于执行撕囊和囊切手术的手持方法和设备提供了表现出众的结 果,因此,本发明公开的方法和系统被认为是这些技术的重大进步。 另外,提供了以大大降低错误切割风险的方式提供激光束发射的传输 方式,这取决于特定的应用,可能非常重要。此外,在下面的实施例 里,前囊切割可以是一个连续切割、切割和未切割面(切口之间的未 切割的囊部分)和穿孔。因此,如这里所使用的术语“错误切割”指 的是一次切割,其意图是由特定的激光束照射图案进行切割,但由于 激光束错过了晶状体囊或目标晶状体材料,而没有发生。因此,在切 口和未切割面模式中,如果它们的意图是不被激光图案切割,未切割 面不会被认为是错误切割。

在晶状体前表面的切割的目的是在晶状体囊上创建开 口,用于切除晶状体的内部结构。为了促进这种切割,提供了可将晶 状体内部结构切割成小块的各种激光照射模式,随后可以从晶状体囊 中去除该小块。这些小块的面积可以从约1平方毫米到约16平方毫 米,更优选的是从约2.5平方毫米到约4平方毫米。因此可使用晶状体 内部结构的网格激光照射模式,其创建晶状体内部材料的方形小块。 这些方形小块的尺寸可以从约100微米的长度至约4毫米的长度,其 优选为约500微米到2毫米。此外,本发明不仅限于形成方形,也可 使用其它类似尺寸的体积形状。例如,可使用其它形状的布置,例如 三角形和圆形切片状。

前囊上的激光切割用于在晶状体囊的晶状体前表面上 创建小开口,用于取出内部材料的切块。因此,该流程可用于治疗白 内障。该流程也可用于去除具有混浊的晶状体,该混浊还没有发展到 白内障的程度。该流程可进一步用于去除透明但已失去了适应能力的 天然晶状体。在上述所有情况下,可以理解,去除晶状体材料后,晶 状体囊随后将容纳合适的替代品,例如IOL、适应性的IOL,或合成 的晶状体填充材料。此外,开口的尺寸和形状是可变及精确控制的, 对于目前已知的填充材料和IOL,优选为晶状体填充应用的直径为2 毫米或更少,人工晶状体为大约5毫米。

这些活动的执行顺序可能取决于具体特点,例如内部 晶状体结构、白内障密度、白内障的位置、一旦已切成小块用于去除 内部晶状体材料的设备类型,所使用激光的类型和电源、激光所产生 的气体气泡的数量和大小,以及其它因素。因此,虽然此处的实施例 提供了执行切割晶状体前表面并切片晶状体内部结构的活动顺序,应 该认识到,这个顺序是可以改变的,以及基本上同时进行或同时进行。

用于患者治疗的优选激光系统能够在晶状体囊上制造 精确和预定的切口,从而引起具有精确和预定形状的晶状体囊切。因 此,提供了获取和分析人工晶状体的形状和结构的方法,特别是获取 和分析可调节人工晶状体、减少和/或消除对眼镜的需求的人工晶状 体和/或用于近、中、远视的人工晶状体、包括但不限于FDA批准的 所谓人工晶状体版本的形状和结构。根据这个分析,确定了对于用于 和特定人工晶状体或相似形状人工晶状体组一起使用的囊切的优化 的形状和位置。然后对系统提供预定的照射图案,以制造这个优化形 状的囊切,优选为提供照射图案至控制系统103。该激光系统随后可 用于任何一个或所有下列流程,确定晶状体前表面特别是晶状体前囊 表面的形状和位置,确定晶状体囊关于激光系统的顶点,执行具有对 于特定人工晶状体的、精确和预定的激光囊切,去除自然人工晶状体 材料。

因此,本发明提供了以照射图案传输激光束至眼睛晶 状体特别是眼睛晶状体囊的技术、系统和设备,其以精确和预定的方 式,提供精确和预定的囊切。这些图案的形状可使用线锯或环传输序 列传输。

这里进一步提供了具有以高速率大范围Z扫描的激光 照射模式的使用,而X-Y位置以圆形或椭圆形或其它图案或需要的形 状移动,移动更加缓慢以使激光切割动作多次发生于本质上相同的 X-Y位置。因此,可以设想,激光束像线锯尖端一样相对于X-Y位置 快速上下移动,以创建切割形状。这样,如果前囊在切割中移动,由 于气泡传播或任何其它原因,仍然对囊做出该切割,尽管可能在激光 发射的Z方向上下分布的中心区域外,更多在分布的前端或后端。核 激光切割的地方创建了大量泡沫堆积,Z范围内,或上下切割的范 围应该约1毫米的长度,前囊名义上的中心将允许大约+/-475微米的 囊运动,并仍然提供25微米厚的囊的切割。

除了在手术过程中移动切割移动的囊,该手术过程可 用于弥补囊定位中的静态错误,例如测量错误。这样,Z范围内的长 度可能由系统的已知错误增加。

除了这里公开的大范围Z扫描外,也考虑使用切割动作 的较小Z范围,其用于囊位置的不确定性可能更小的情况,从静态测 量错误到期望的位置改变,可能为几百微米的范围,或者高度精确测 量的数据和手术过程中接近零运动的囊的情况。在这种情况下,Z范 围内的可能是几十微米-足够的范围以切穿囊厚度。

常规美国专利申请12/509,412的全部内容在此均以参 考的方式并入,其提供了进一步的方法和系统,以定义眼睛结构特别 是前囊的高度精确的位置测量,以提供从病人到病人的总体上更大精 确性、精度和可重复性的对眼睛尤其是晶状体囊的手术流程。

这里提供的激光照射模式中,优选为,图案中关于相 邻发射的个别发射的位置彼此充分接近,以在完成图案时,足够的连 续层和/或线和/或块的材料已被删除。这里考虑较小或较大距离的发 射间距,包括必要的重叠,以获得所需的结果。发射间距的考虑因素 包括气泡消散、体积去除率、测序效率、扫描仪性能、裂解效率等等。 此外,前述发射间距的考虑因素以更低或更高的程度相互关联,本领 域的技术人员知道如何根据本发明所公开的教导来评估条件,以实现 本发明的目标。最后,应考虑图案中关于相邻发射的个别发射的位置 通常为尽可能接近,通常由光致破裂体(photodisruption physics) 的尺寸和时间帧所限制,其中除其它限制外将包括以前发射的气体泡 沫的膨胀。如此处所使用的,光致破裂体的时间帧涉及围绕光致破裂 发生的影响,如等离子体的形成和扩展、冲击波传播、以及气泡的膨 胀和收缩。因此,这种连续脉冲可以如此定时,其可比某些、主要的、 或所有的这些影响因素更快,这样可以增加体积去除和/或切割效率。 因此,建议使用从50MHz到5GHz的脉冲重复频率,其可以由具有以 下参数的激光器完成:谐振腔长度为3米至3厘米的锁模激光器。这 种高PRF激光器可以更容易产生重叠于一个位置的多个脉冲,以允许 每个脉冲的较低能量从而实现光致破裂。如此处所使用的术语第一、 第二、第三等,是相对而言,必须考虑使用它们的上下文。它们不涉 及时间,除非特别提到这样。

从上述的描述中,本领域的技术人员可以很容易地确 定本发明的基本特征,并且在不脱离本发明的精神和范围的前提下, 可以对本发明做各种变化和/或修改,以使其适应不同的用途和条件。

去获取专利,查看全文>

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号