公开/公告号CN102576655A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-11
原文格式PDF
申请/专利权人 瓦里安半导体设备公司;
申请/专利号CN201080040505.0
申请日2010-08-11
分类号H01L21/02;
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人臧建明
地址 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
入库时间 2023-12-18 06:04:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-18
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/02 申请公布日:20120711 申请日:20100811
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20100811
实质审查的生效
2012-07-11
公开
公开
机译: 脉冲沉积和再结晶以及利用结晶/非晶材料的串联太阳能电池设计
机译: 脉冲沉积和再结晶以及利用结晶/非晶材料的串联太阳能电池设计
机译: 脉冲沉积和再结晶以及利用结晶/非晶材料的串联太阳能电池设计