公开/公告号CN102288299B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-11-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201110207838.4
申请日2011-07-25
分类号
代理机构上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:12:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-11-21
授权
授权
2012-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 5/10 申请日:20110725
实质审查的生效
2011-12-21
公开
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