公开/公告号CN102466448A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-23
原文格式PDF
申请/专利权人 维达纸业(广东)有限公司;
申请/专利号CN201010555004.8
申请日2010-11-19
分类号G01B5/06;
代理机构广州市红荔专利代理有限公司;
代理人黄大宇
地址 529100 广东省江门市新会区会城镇东候工业开发区维达纸业(广东)有限公司
入库时间 2023-12-18 05:08:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-30
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B5/06 申请公布日:20120523 申请日:20101119
发明专利申请公布后的驳回
2013-09-25
专利申请权的转移 IPC(主分类):G01B5/06 变更前: 变更后: 登记生效日:20130903 申请日:20101119
专利申请权、专利权的转移
2012-07-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B5/06 申请日:20101119
实质审查的生效
2012-05-23
公开
公开
机译: 薄膜厚度测量装置,膜厚度测量方法,膜厚度测量程序,以及用于记录膜厚度测量程序的记录介质
机译: 厚度测量装置和使用该厚度测量装置的厚度测量方法
机译: 厚度测量装置和使用该厚度测量装置的厚度测量方法