一种轴向圆跳动和全跳动的单转位误差分离装置及方法

摘要

本发明涉及一种轴向圆跳动和全跳动的单转位误差分离装置及方法，属于微纳米超精密测量技术领域。本发明将轴向圆跳动、全跳动测量装置与误差分离系统有机地整合为一体，在误差分离过程中通过选择恰当的转位角α，使工件相对回转主轴进行相应角度的单次小角度转位，通过测量工件转位前和转位后包括工件轴向圆跳动误差g(n)、主轴回转误差z(n)在内的综合误差A(n)和B(n)，利用快速傅里叶级数变换和谐波分析等数学处理方法，实现z(n)和g(n)在1-100upr谐波范围的全谐波分离。本发明可避免现有误差分离方法进行圆跳动误差分离时，不能完全分离回转轴系引入的误差、误差分离时间长以及容易引入较大的各类漂移等不足，同时可以大大简化误差分离装置和误差分离过程。