动态控制微晶层中形成的膜的微结构的方法

摘要

提供了一种用于本征型微晶硅层的方法。在一个实施例中，形成本征型微晶硅层的方法包括动态增加供应到设置在处理室中的基板表面上的气体混合物中的硅烷气体，动态减小施加到供应至处理室的气体混合物中的用于在所述气体混合物中形成等离子体的RF功率，和在基板上形成本征型微晶硅层。