反应器、化学气相沉积反应器以及有机金属化学气相沉积反应器

摘要

本发明是一种反应器、化学气相沉积反应器以及有机金属化学气相沉积反应器。反应器具有多个独立热库。每一热库可通过加热与冷却的方式，来调整热库温度。第一热库与第二热库面对面相对设置，且两者内侧具有一预定的距离及一预定的夹角。第一热库上可放置至少一基板，基板位于的一热库与第二热库之间，且第二热库的温度较第一热库的温度为高，以增进反应物的热分解效率。