用于低温PECVD应用的基座加热器

摘要

提供一种用于提供功率给加热支撑基座的方法和设备。在一实施例中，叙述一种处理套组。该处理套组包含：空心轴，其由导电材料制成，并在一端耦合至基板支撑件，而在相对端耦合至基底组件，该基底组件适于耦合至配置在半导体处理工具上的功率箱。在一实施例中，该基底组件包含至少一暴露的电连接器，其配置在由介电材料，例如塑料树脂，制成的嵌件中。