公开/公告号CN101853771A
专利类型发明专利
公开/公告日2010-10-06
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海应用物理研究所;
申请/专利号CN200910048794.8
申请日2009-04-03
分类号H01J49/40;G01N27/62;
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人邓琪
地址 201800 上海市嘉定区嘉罗公路2019号
入库时间 2023-12-18 01:00:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-04-18
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J49/40 公开日:20101006 申请日:20090403
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-11-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J49/40 申请日:20090403
实质审查的生效
2010-10-06
公开
公开
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