公开/公告号CN101824605A
专利类型发明专利
公开/公告日2010-09-08
原文格式PDF
申请/专利权人 扬州恒德模具有限公司;
申请/专利号CN200910024879.2
申请日2009-03-02
分类号C23C16/02;C23C16/34;C23C14/02;C23C14/06;
代理机构北京连和连知识产权代理有限公司;
代理人奚衡宝
地址 225000 江苏省扬州市邗江工业园祥园路2号
入库时间 2023-12-18 00:44:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-04-17
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C16/02 申请公布日:20100908 申请日:20090302
发明专利申请公布后的驳回
2010-10-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/02 申请日:20090302
实质审查的生效
2010-09-08
公开
公开
机译: 设置用于氮化钛膜分析的臭氧电子光谱的参考能的方法以及包括氮化钛膜和氮化钛膜的半导体器件的分析方法
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